發(fā)布時間：2017-06-05 02:08

  本文關(guān)鍵詞：直方圖法在薄膜厚度測量上的適用性研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：薄膜厚度是薄膜測試領(lǐng)域中非常重要的參數(shù)。利用直方圖法處理觸針式輪廓儀測試數(shù)據(jù)(標(biāo)準(zhǔn)樣品、制備樣品)得到臺階高度,是獲取薄膜厚度的方法之一。通過對樣品的臺階高度、橢偏測試計算結(jié)果的對比分析,發(fā)現(xiàn)直方圖法能夠有效避免人為因素的影響,適用于10nm以上的薄膜厚度的測量,是目前最適于定為薄膜厚度測試標(biāo)準(zhǔn)的方法。
【作者單位】： 中國建筑材料科學(xué)研究總院;綠色建筑材料國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 薄膜厚度 臺階高度 直方圖 觸針式輪廓儀
【基金】：國家自然基金資助項目(Nos.50972136,51272245)的資助
【分類號】：TB302;TB383.2
【正文快照】： 觸針式輪廓儀具有測量簡單、精度高、測量范圍寬、厚度圖像可以直接觀察等特點。可以測量在大氣狀態(tài)下性能穩(wěn)定、在襯底上有一定硬度的各種薄膜,如金屬、氧化物、碳化物、氮化物等[1]。其工作原理如圖1所示,利用一定直徑的觸針掃描被測樣品的表面,同時記錄觸針在樣品垂直方向

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：422665