本文關(guān)鍵詞：介電薄膜熱處理工藝研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：介電材料是一類重要的電子信息功能材料,隨著電子元器件片式化、集成化的發(fā)展,介電材料納米薄膜化已成為必然趨勢。尤其是自20世紀(jì)80年代中期以來,由于薄膜制備技術(shù)的發(fā)展,在較低的襯底溫度下,沉積高質(zhì)量底外延或擇優(yōu)取向的介電薄膜成為可能,從而使介電薄膜工藝技術(shù)與半導(dǎo)體工藝技術(shù)的兼容成為可能。本次研究主要采用溶膠凝膠(Sol-gel)制備PbSrTiO_3(PST)介電薄膜樣品,并對熱處理工藝做出了科學(xué)性研究。熱處理溫度過低,薄膜不能充分晶化;熱處理溫度過高,由于PST薄膜中易揮發(fā)元素的Pb存在,容易引起Pb的揮發(fā),從而大大影響薄膜的介電性能。因此,確定熱處理溫度對于PST薄膜成膜質(zhì)量以及介電性能來說至關(guān)重要。
【作者單位】： 浙江省特種設(shè)備檢驗(yàn)研究院;
【關(guān)鍵詞】： 熱處理工藝 PST 介電特性
【分類號】：TB34;TB383.2
【正文快照】： 1薄膜樣品的制備PST介電薄膜采用Sol-gel方法制備,溶膠凝膠法的的工藝原理是,以液體化學(xué)試劑配置成無機(jī)鹽或者金屬醇鹽的前驅(qū)體,前驅(qū)體在溶劑中形成成分穩(wěn)定的溶液,再加入適當(dāng)?shù)哪虅┦果}水解或者發(fā)生聚合反應(yīng)生成均勻穩(wěn)定的溶膠體系,經(jīng)過旋涂法在指定的基片上鍍膜,將得到的

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中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王鴻生;機(jī)件熱處理工藝規(guī)程的編訂和貫澈經(jīng)驗(yàn)[J];機(jī)床與工具;1955年16期

2 劉正瑞;編制熱處理工藝規(guī)程的幾點(diǎn)經(jīng)驗(yàn)[J];機(jī)床與工具;1956年07期

3 ;改革熱處理工藝,砍掉氰化鈉[J];勞動保護(hù);1973年03期

4 梅志強(qiáng);;關(guān)于對熱處理工藝標(biāo)準(zhǔn)中幾個問題的認(rèn)識[J];鑄鍛熱;1987年01期

5 董一良;;全國首次熱處理工藝材料質(zhì)量考核結(jié)果已經(jīng)揭曉[J];鑄鍛熱;1988年02期

6 李祥和;;全國第一次熱處理工藝材料產(chǎn)品質(zhì)量考核結(jié)束[J];金屬熱處理;1988年03期

7 顏禮功;;云南省舉辦首屆熱處理工藝標(biāo)準(zhǔn)宣貫班[J];金屬熱處理;1992年08期

8 韋小芳;熱處理工藝中±10℃控溫誤差的保證與修定[J];中國修船;1996年03期

9 張樂欣,肖福仁,喬桂英,胡怡,廖波;熱處理工藝對3Cr-1Mo-0.25V-Ti-B鋼組織與性能的影響[J];金屬熱處理;2000年07期

10 張懷青;大型拉延模的熱處理工藝改進(jìn)[J];金屬熱處理;2000年07期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張崇輝;陳蕾;;計算機(jī)在熱處理工藝編制中的應(yīng)用[A];2002年黑龍江省機(jī)械工程學(xué)會年會論文集[C];2002年

2 張改蘭;;45鋼熱處理工藝及性能試驗(yàn)[A];中國郵電/電子學(xué)會生產(chǎn)技術(shù)學(xué)會熱處理郵電三屆/西南二屆/四川四屆年會論文集[C];1992年

3 譚新興;王多斌;;塔式容器終環(huán)縫熱處理工藝質(zhì)量控制[A];2006年第二屆七省區(qū)市機(jī)械工程學(xué)會科技論壇暨學(xué)會改革與發(fā)展研討會論文集[C];2006年

4 高書嵐;;熱處理工藝對1J512合金性能的影響[A];北京電子學(xué)會第二屆熱處理年會論文簡要匯編[C];1990年

5 王增友;;高速鍛葉片1Cr13鋼的熱處理工藝[A];數(shù)控設(shè)備使用和管理學(xué)術(shù)研討會論文集[C];2003年

6 高淑嵐;;熱處理工藝對1J512合金性能的影響[A];第四屆金屬材料及熱處理年會論文集（下）[C];1991年

7 萬振才;;45鋼最佳熱處理工藝規(guī)范的探討[A];第四屆金屬材料及熱處理年會論文集（下）[C];1991年

8 張改蘭;;45鋼熱處理工藝及性能試驗(yàn)[A];中國電子學(xué)會生產(chǎn)技術(shù)分會第五屆金屬材料及熱處理年會論文集（三）[C];1994年

9 武會賓;唐荻;楊躍輝;;熱處理工藝對9Ni鋼組織和性能的影響[A];2009年全國高品質(zhì)熱軋板帶材控軋控冷與在線、離線熱處理生產(chǎn)技術(shù)交流研討會文集[C];2009年

10 張迎濤;王德龍;;熱處理工藝對40Cr性能的影響[A];山東省金屬學(xué)會理化檢驗(yàn)學(xué)術(shù)委員會理化檢驗(yàn)學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2009年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 周傳勇 陳磊;濟(jì)鋼熱處理工藝打造優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品[N];中國冶金報;2006年

2 張丹;軸承熱處理工藝新發(fā)展[N];中國冶金報;2013年

3 劉杰;大直徑圓鋼和型鋼的在線熱處理工藝[N];世界金屬導(dǎo)報;2014年

4 牟玉紅 韓洪;中鋼西重水溶性淬火液工藝投入生產(chǎn)[N];中國冶金報;2007年

5 王;柔性化在線熱處理工藝[N];世界金屬導(dǎo)報;2011年

6 談猛 劉占增;熱處理工藝在HFW焊管中的應(yīng)用研究[N];世界金屬導(dǎo)報;2014年

7 王磊;寶鋼高純鐵素體不銹鋼甫一出爐就成市場搶手貨[N];中國冶金報;2006年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 嚴(yán)翔;船體結(jié)構(gòu)用HSLA100鋼熱處理工藝、組織及性能研究[D];武漢科技大學(xué);2015年

2 趙曦;熱處理工藝綠色性評價與評價系統(tǒng)的研究與開發(fā)[D];機(jī)械科學(xué)研究總院;2014年

3 王日清;工程機(jī)械用Q690級高強(qiáng)鋼的熱處理工藝研究與開發(fā)[D];東北大學(xué);2011年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 溫放放;鋯剛玉/高鉻鑄鐵蜂窩復(fù)合材料熱處理工藝研究[D];昆明理工大學(xué);2015年

2 劉洋;Q&P處理20Si_2Mn鋼的組織性能研究[D];長春工業(yè)大學(xué);2015年

3 李玉建;ZGMn13熱處理工藝對其組織與性能的影響[D];沈陽大學(xué);2015年

4 周實(shí)庫;風(fēng)電用螺栓熱處理工藝設(shè)計系統(tǒng)的設(shè)計與實(shí)現(xiàn)[D];上海交通大學(xué);2014年

5 王依平;熱處理工藝對織針變形影響的研究[D];東華大學(xué);2016年

6 李丹;Mn元素及熱處理工藝對ZA40合金微觀組織和性能的影響[D];合肥工業(yè)大學(xué);2015年

7 宋曄;大型球磨機(jī)襯板低合金耐磨鋼的熱處理工藝研究[D];西安建筑科技大學(xué);2015年

8 江志強(qiáng);TBM盤形滾刀熱處理工藝的數(shù)值模擬與刀圈材料性能研究[D];鄭州大學(xué);2016年

9 羅培東;氣門熱處理工藝數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)的研究與開發(fā)[D];武漢理工大學(xué);2006年

10 朱萬山;熱處理工藝系統(tǒng)研發(fā)[D];電子科技大學(xué);2012年

  本文關(guān)鍵詞：介電薄膜熱處理工藝研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：420001