通過磁控濺射在摻鋁氧化鋅（AZO）透明導(dǎo)電玻璃表面沉積了10 nm厚的Ag層,得到Ag/AZO雙層復(fù)合透明導(dǎo)電薄膜,然后利用532納秒脈沖激光器對其進(jìn)行輻照處理�？疾炝思す饽芰棵芏葘Ρ∧ば蚊�、結(jié)構(gòu)及綜合光電性能的影響�？疾炝思す廨椪仗幚砗驛g/AZO雙層復(fù)合透明導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、透光率、反射率及品質(zhì)因子,并通過掃描電鏡和X射線衍射儀分析了它們的表面形貌和晶體結(jié)構(gòu)。結(jié)果表明,當(dāng)激光能量密度為0.6 J/cm²時(shí),薄膜的方塊電阻為9.26Ω,在400～800 nm波段的平均透光率為88.38%,平均反射率為11.69%,品質(zhì)因子為3.14×10^-2 Ω^-1,表現(xiàn)出最優(yōu)的綜合光電性能。

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【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)
    1.1 基材與設(shè)備
    1.2 試樣的制備
    1.3 表征與性能測試
2 結(jié)果與討論
    2.1 光學(xué)性能──透光率
    2.2 電學(xué)性能──方塊電阻
    2.3 光學(xué)性能──反射率
    2.4 綜合光電性能──品質(zhì)因子
    2.5 表面形貌
    2.6 XRD分析
3 結(jié)論



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