本文在紡織纖維基材表面采用二次濺射沉積法制備了Cu/Al₂O₃復(fù)合薄膜,利用掃描電鏡（SEM）、X射線能譜儀（EDX）和矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀對室溫環(huán)境下存放3600h的復(fù)合薄膜的表面形貌、元素含量以及屏蔽效能進行了測試,并與相同工藝條件下制備的純Cu薄膜進行了對比分析。結(jié)果表明:與純Cu薄膜結(jié)構(gòu)的不穩(wěn)定性相比,由于復(fù)合薄膜表層Al₂O₃薄膜的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和致密性,Cu/Al₂O₃復(fù)合薄膜在保證高屏蔽性能的前提下,具有整體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性,表現(xiàn)出了良好的抗氧化性能。

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【文章目錄】：
1 引言
2 實驗部分
    2.1 實驗材料和設(shè)備
    2.2 樣品制備
        2.2.1 預(yù)處理
        2.2.2 樣品制備
            2.2.2. 1 Cu薄膜的制備
            2.2.2. 2 Cu/Al2O3復(fù)合薄膜的制備
    2.3 薄膜的表面形貌、元素含量分析及屏蔽性能測試
3 實驗結(jié)果與分析
    3.1 Al2O3薄膜的制備
    3.2 Cu/Al2O3復(fù)合薄膜的抗氧化性能研究
        3.2.1 Cu薄膜和Cu/Al2O3復(fù)合薄膜表面形貌隨時間的變化
        3.2.2 Cu薄膜和Cu/Al2O3復(fù)合薄膜表面元素含量隨時間的變化
        3.2.3 Cu薄膜和Cu/Al2O3復(fù)合薄膜屏蔽效能隨時間的變化
4 結(jié)論



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