采用磁控濺射方法制備了MoS₂薄膜與不同碳含量的MoS₂/a-C復(fù)合薄膜,利用XRD、SEM、Raman光譜儀、納米壓痕儀和CSM摩擦試驗(yàn)機(jī)等分析了復(fù)合薄膜的結(jié)構(gòu)、力學(xué)和摩擦學(xué)性能.結(jié)果表明:MoS₂薄膜為疏松的柱狀結(jié)構(gòu),MoS₂/a-C復(fù)合薄膜為無(wú)定形的致密結(jié)構(gòu),硬度較高.低濕環(huán)境下MoS₂薄膜與MoS₂/a-C復(fù)合薄膜的摩擦性能差別不明顯;高濕環(huán)境下薄膜的摩擦系數(shù)和磨損率均有所升高,其中MoS₂薄膜與低碳含量的MoS₂/a-C復(fù)合薄膜氧化嚴(yán)重,而高碳含量的MoS₂/a-C復(fù)合薄膜的摩擦學(xué)性能穩(wěn)定,對(duì)濕度交替變換的環(huán)境適應(yīng)性更佳.這是由于碳元素?fù)诫s改善復(fù)合薄膜的微觀結(jié)構(gòu),提高復(fù)合薄膜的抗氧化性和力學(xué)性能.

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