針對(duì)物體表面形貌無損探測(cè),提出了一種基于大面積薄膜晶體管(TFT)和聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的表面形貌探測(cè)方法,具有大面積、可覆形、便攜化和高精度的特點(diǎn)。該方法利用電容傳感器原理,將已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體顯示領(lǐng)域的TFT陣列與傳感器相結(jié)合,可精確定位物體表面微米級(jí)缺陷,測(cè)量分辨率達(dá)到50μm,實(shí)現(xiàn)了對(duì)物體表面形貌的精準(zhǔn)無損探測(cè)。

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本文編號(hào)：3923510