氫氣是一種清潔能源,在合成工業(yè)、電子制造業(yè)、燃料電池等各方面都有廣泛的應(yīng)用。但是氫氣易燃易爆,且無色無味,不易被人類所感知,因而在使用過程中存在一定的安全隱患。值得注意的是,在氫氣生產(chǎn)、運(yùn)輸、存儲或在某些特殊環(huán)境(例如對核材料所處氣氛的氫氣監(jiān)測)下的監(jiān)測中,背底氣氛的氧氣濃度往往低于20%甚至在ppm級別,在這種環(huán)境下的氫氣檢測與常規(guī)氧濃度下氫氣檢測有較大差別。因此為了保證上述環(huán)境中的生命財(cái)產(chǎn)安全,需要在不同氧濃度中對氫氣及其濃度進(jìn)行高靈敏的檢測。金屬氧化物(MOX)半導(dǎo)體氣體傳感器具有靈敏度高、成本低廉、長期穩(wěn)定、易于微型化的優(yōu)勢,被廣泛研究和使用。目前金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器的響應(yīng)機(jī)制與氧環(huán)境有很大的關(guān)系。為了在特定氧濃度范圍內(nèi)都能對氫氣有高靈敏度,需要采取一定方式去進(jìn)一步提高傳感器的靈敏度。從氣敏材料層面,可以采用修飾、復(fù)合等方式來提高靈敏度;從外場層面,可以采用過濾膜及熱調(diào)制來調(diào)控氣敏性能。因此本文首先用Pt修飾的ZnO作為氣敏材料,在Pt-ZnO氣敏膜上沉積一系列不同Si/Al原子比的SiO₂/Al₂O₃復(fù)合...

【文章頁數(shù)】：93 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖2-1八元件陣列傳感器示意圖（a）八元件陣列基片示意圖；（b）八元件陣列傳感器示意圖；（c）

絲網(wǎng)印刷機(jī)印制到電極基片上，再通過結(jié)合化學(xué)氣相沉積USP）兩種成膜方式，在Pt-ZnO氣敏膜上原位沉積一層S的復(fù)合膜。通過調(diào)節(jié)Si和Al的原子比（Si/Al）來調(diào)控?cái)U(kuò)散感器在不同氧濃度背底下的H2響應(yīng)，并對其現(xiàn)象進(jìn)行機(jī)理件的傳感器均為本課題小組自行設(shè)計(jì)的八陣列氣敏....

圖2-2氣味模組測試儀（a）整體實(shí)物圖；（b）氣氛采樣及測試模塊

華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文電極基片能讓基片更好的散熱。圖2-1（c）和2-1圖（d）分別為封裝了不銹鋼外殼的傳感器示意圖和實(shí)物圖，封裝后可避免人為誤碰或外界損壞基片。2.2.2氣味模組測試儀為了測試上一節(jié)介紹的傳感器在氣氛中的性能，實(shí)驗(yàn)室自制了傳感器氣....

圖2-3化學(xué)氣相沉積（CVD）與超聲噴霧熱解（USP）組合裝置及過程（a）CVD及USP組合裝置整體圖；（b）傳感器位于測試腔內(nèi)；CVD和USP組合在玻璃器皿通入空氣（c）前（d）后狀態(tài)

華中科技大學(xué)碩士學(xué)位論文本小組相關(guān)工作及論文[83]。如圖2-3（a）（b）所示，該裝置主要由一個(gè)異形玻璃罐和2.2.2中介紹的氣味模組測試儀組成，其中超聲霧化器放置在玻璃罐的右側(cè)底部，接通電源即可是金屬鹽溶液霧化。傳感器放置在測試腔中并倒扣在玻璃罐左....

圖2-4高通量氣敏性能測試平臺示意圖

圖2-4高通量氣敏性能測試平臺示意圖[83]末采用均相沉淀法制備，Pt-ZnO粉末在制備好納米ZnOO所需的藥品試劑如表2-1所示。表2-1制備Pt-ZnO所需藥品試劑化學(xué)式純度廠家Zn(NO3)2·6H2O99.99%上海阿拉丁生化科技股份有限CH....

本文編號：3914735