空間技術(shù)的發(fā)展既大大擴(kuò)寬了人們認(rèn)識(shí)自然的范圍,也帶來(lái)了不少特殊的摩擦學(xué)問(wèn)題,如暴露于超高真空、輻照、原子氧、宇宙塵、極端高低溫和微重力環(huán)境條件下的空間機(jī)械的潤(rùn)滑難題。在宇宙空間苛刻的環(huán)境因素作用下,油脂潤(rùn)滑劑易發(fā)生蒸發(fā)、分解或交聯(lián),難以勝任空間機(jī)構(gòu)的潤(rùn)滑,所以固體潤(rùn)滑薄膜成為研究重點(diǎn)和熱點(diǎn)。近年來(lái),MoS₂和類(lèi)金剛石(DLC)固體潤(rùn)滑薄膜在真空環(huán)境下具有超低摩擦系數(shù),一度展示出極大的應(yīng)用前景。但是,因其硬度略低,服役在真空、晝夜溫差、原子氧侵蝕和輻照效應(yīng)共同作用的環(huán)境中,難以完全滿(mǎn)足零部件表面減摩和耐磨性保護(hù)要求,為此尋求其他的固體潤(rùn)滑替代涂層迫在眉睫。過(guò)渡族金屬TiN薄膜具有高硬度,高耐磨,良好的抗腐蝕性能,較高的高溫穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn),已被廣泛用作工模具的保護(hù)涂層,材料的裝飾涂層,微電子領(lǐng)域的擴(kuò)散阻擋層以及生物領(lǐng)域等。人們對(duì)Ti N薄膜的摩擦學(xué)行為研究主要集中于大氣環(huán)境,該材料在真空環(huán)境下的摩擦學(xué)行為鮮有系統(tǒng)的研究和報(bào)道。本論文采用多弧離子鍍技術(shù)在304不銹鋼表面沉積了TiN薄膜。對(duì)比研究了薄膜在大氣和真空環(huán)境下的摩擦學(xué)行為,探討了環(huán)境介質(zhì)(氧氣、氮?dú)?及不同配副材...

【文章頁(yè)數(shù)】：64 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

圖1.1Ti-N二元相圖

圖1.2磁控濺射原理圖

圖1.3多弧放電離子鍍示意圖

圖2.1多弧離子鍍沉積設(shè)備

本文編號(hào)：3884328