ZnO薄膜在太陽能電池、電子通訊設(shè)備等眾多領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景,隨著鋁、鋰、硼、氮等元素的摻雜,ZnO薄膜的性能得到優(yōu)化。相比未摻雜的ZnO薄膜,經(jīng)摻雜的ZnO薄膜的導(dǎo)電性能和光學(xué)性能明顯提高。但早期研究者大多數(shù)在透明玻璃、單晶硅片、藍(lán)寶石等硬質(zhì)基體上沉積ZnO薄膜,不能彎曲和折疊,很難滿足現(xiàn)在工業(yè)對柔性器件的發(fā)展需求。近年來,越來越多的電子器件開始朝著柔性化、輕質(zhì)化方向發(fā)展,例如液晶顯示器、太陽能電池、可穿戴設(shè)備等,使得對高性能柔性透明導(dǎo)電薄膜的需求日益增長。本研究正是基于這樣的背景,研讀了近年來國內(nèi)外學(xué)者在柔性基體上制備ZnO透明導(dǎo)電薄膜的發(fā)展,參考了柔性ZnO薄膜的不同制備方法及影響薄膜結(jié)構(gòu)光電性能的工藝參數(shù),并對其形成機(jī)理和電子輸運(yùn)特性進(jìn)行了深入分析。本實(shí)驗(yàn)采用磁控濺射方法,在柔性聚合物PET基體上沉積一層Zn O薄膜,然后沉積了Al₂O₃緩沖層,通過改變Al₂O₃緩沖層的沉積時(shí)間、濺射功率等參數(shù)和AZO薄膜中不同的Al含量(0%、1.5%、2.0%、2.5%),制備了ZnO/Al

【文章頁數(shù)】：61 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 透明導(dǎo)電薄膜
    1.2 基于柔性基體的ZnO薄膜的基本性質(zhì)
        1.2.1 ZnO的晶體結(jié)構(gòu)
        1.2.2 ZnO的光學(xué)性質(zhì)
        1.2.3 ZnO的電學(xué)性質(zhì)
    1.3 ZnO基柔性透明導(dǎo)電薄膜的研究進(jìn)展及應(yīng)用前景
        1.3.1 ZnO基柔性導(dǎo)電薄膜的研究進(jìn)展
        1.3.2 ZnO基柔性導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用前景
    1.4 緩沖層對ZnO基柔性薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響
    1.5 摻雜元素對ZnO基柔性薄膜結(jié)構(gòu)及性能的影響
    1.6 本論文的研究內(nèi)容及意義
第2章 ZnO柔性薄膜的制備技術(shù)及性能表征方法
    2.1 AZO/Al₂O₃/ZnO薄膜的制備
        2.1.1 濺射鍍膜的原理
        2.1.2 AZO薄膜的制備
    2.2 薄膜工藝參數(shù)的確定
    2.3 AZO薄膜性能表征方法
    2.4 本章小結(jié)
第3章 Al₂O₃緩沖層的AZO薄膜性能研究及機(jī)理分析
    3.1 Al₂O₃緩沖層對薄膜結(jié)構(gòu)性能的影響
    3.2 Al₂O₃緩沖層對薄膜表面形貌的影響
    3.3 Al₂O₃緩沖層對薄膜光學(xué)性能的影響
    3.4 Al₂O₃緩沖層對薄膜電學(xué)性能的影響
    3.5 本章小結(jié)
第4章 不同Al含量對ZnO基薄膜性能的影響
    4.1 不同Al含量對薄膜結(jié)構(gòu)性能的影響
    4.2 不同Al摻雜量對薄膜表面形貌的影響
    4.3 不同Al含量對薄膜光學(xué)性能的影響
    4.4 不同Al含量對薄膜電學(xué)性能的影響
    4.5 本章小結(jié)
第5章 結(jié)論與展望
    5.1 結(jié)論
    5.2 展望
致謝
參考文獻(xiàn)
作者簡介
攻讀碩士學(xué)位期間研究成果



本文編號：3848435