采用磁控濺射工藝在PET襯底上依次沉積了Al₂O₃和SiO₂薄膜,制備出SiO₂/Al₂O₃/PET復(fù)合膜。利用掃描電鏡和透濕儀對(duì)復(fù)合膜的表面形貌和透濕性能進(jìn)行表征。研究了制備Al₂O₃膜層的射頻功率、氬氣流量、本底真空度和濺射時(shí)間4個(gè)參數(shù)對(duì)復(fù)合膜透濕率的影響。結(jié)果表明:復(fù)合膜的透濕率隨著本底真空度的升高而減小,隨著射頻功率、氬氣流量和濺射時(shí)間的增加均呈現(xiàn)先減小后增大的變化趨勢(shì);4個(gè)制備參數(shù)對(duì)復(fù)合膜透濕率的影響程度由大到小依次是本底真空度、氬氣流量、射頻功率、濺射時(shí)間;4個(gè)制備參數(shù)的較優(yōu)組合為本地真空度0.5×10^-3Pa,射頻功率300 W,濺射時(shí)間6 min,氬氣流量70 m L·min^-1。

【文章頁(yè)數(shù)】：6 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引言
2 實(shí)驗(yàn)
3 結(jié)果與討論
    3.1 Al2O3制備參數(shù)對(duì)Si O2/Al2O3/PET復(fù)合膜透濕率的影響
        3.1.1 射頻功率的影響
        3.1.2 氬氣流量
        3.1.3 本底真空度
        3.1.4 濺射時(shí)間
    3.2 Al2O3制備參數(shù)的優(yōu)化
4 結(jié)論



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