鋯鈦酸鉛(PbZr_xTi_1-xO₃,PZT)因具有優(yōu)異的壓電、鐵電、熱釋電和介電性能,在動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器、紅外探測器以及可調(diào)諧微波器件等方面得到了廣泛應(yīng)用。而它在可見和紅外波段的高度透明性,高的折射率和大的電光系數(shù),被認(rèn)為是制作新一代特性參數(shù)動(dòng)態(tài)可調(diào)光子器件的理想材料。近年來,隨著利用含有聚合物的單一化學(xué)溶液,基于相分離原理和靜電引力作用,制備周期性鐵電多層膜技術(shù)的發(fā)明,人們不僅制作了多種鐵電基光子操控器件,還系統(tǒng)研究了聚合物含量與種類、熱處理溫度同單一組份的鐵電多層膜的微結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能之間的聯(lián)系。為進(jìn)一步優(yōu)化鐵電多層膜的電學(xué)和光學(xué)性能,促進(jìn)它們?cè)诠庾訋豆こ填I(lǐng)域和集成光電子學(xué)方面的應(yīng)用,本文細(xì)致考察了Zr組份對(duì)PZT多層膜的形成、微結(jié)構(gòu)及多層膜的鐵電、介電和光學(xué)性能的影響,主要得到以下一些結(jié)果:(1)采用溶膠-凝膠工藝和含有聚合物聚乙烯吡咯烷烔的系列前驅(qū)體溶液,在FTO透明導(dǎo)電玻璃襯底上沉積了一系列PZT薄膜。X射線衍射分析表明:所有PZT薄膜均已晶化,表現(xiàn)出<110>擇優(yōu)取向的多晶結(jié)構(gòu)。高分辨的截面掃描電子...

【文章頁數(shù)】：47 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 鐵電體概述
    1.2 PZT薄膜的應(yīng)用及制備方法
        1.2.1 PZT薄膜的性能及其應(yīng)用
        1.2.2 PZT薄膜的制備方法
    1.3 PZT薄膜研究現(xiàn)狀
    1.4 課題研究意義與內(nèi)容
第2章 樣品的制備及表征
    2.1 實(shí)驗(yàn)方法
    2.2 制備工藝流程
    2.3 PZT薄膜微結(jié)構(gòu)表征
    2.4 PZT薄膜性能測試
第3章 組份對(duì)鋯鈦酸鉛多層膜微結(jié)構(gòu)及光學(xué)特性的研究
    3.1 引言
    3.2 制備鐵電多層膜的原理
    3.3 Zr組份對(duì)PbZr_xTi_1-xO₃ 多層膜微結(jié)構(gòu)的影響
        3.3.1 Zr組份對(duì)PbZr_xTi_1-xO₃ 多層膜結(jié)晶特性的影響
        3.3.2 Zr組份對(duì)PbZr_xTi_1-xO₃ 多層膜截面結(jié)構(gòu)的影響
    3.4 PbZr_xTi_1-xO₃ 多層膜光學(xué)特性隨Zr組份的變化
        3.4.1 周期性多層膜光學(xué)性能的特征參數(shù)
        3.4.2 Zr組份對(duì)PbZr_xTi_1-xO₃ 多層膜反射性能的影響
    3.5 本章小結(jié)
第4章 組份對(duì)鋯鈦酸鉛多層膜電學(xué)特性的研究
    4.1 引言
    4.2 PbZr_xTi_1-xO₃ 多層膜介電特性隨Zr組份的變化
        4.2.1 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
    4.3 PbZr_xTi_1-xO₃ 多層膜鐵電特性隨Zr組份的變化
        4.3.1 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
    4.4 本章小結(jié)
第5章 結(jié)論及展望
    5.1 論文主要工作與結(jié)論
    5.2 對(duì)今后工作的展望
參考文獻(xiàn)
攻讀學(xué)位期間取得的研究成果
致謝



本文編號(hào)：3806959