采用溶膠-凝膠旋涂法在玻璃襯底上沉積納米結(jié)構(gòu)Ti、Ga共摻ZnO薄膜(TGZO,Ga摻雜量為1.0%(原子分?jǐn)?shù),下同)),用X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、分光光度計(jì)(UV-Vis)、四探針測試儀、霍爾效應(yīng)測試儀研究了Ti含量對TGZO薄膜的物相組成、表面形貌、電學(xué)和光學(xué)性能的影響。結(jié)果表明:所有TGZO薄膜均表現(xiàn)出六方纖鋅礦的多晶結(jié)構(gòu),并具有(002)擇優(yōu)取向生長,在380～780 nm波長范圍內(nèi)具有良好的透射率(>86%);隨著Ti含量的增加,TGZO薄膜的晶粒尺寸和可見光平均透射率均先增加后減小,而光學(xué)帶隙和電阻率先減小后增加;Ti摻雜量為1.0%時(shí),具有最高的可見光透射率92.82%,最窄的光學(xué)帶隙3.249 eV,以及最低電阻率2.544×10^-3Ω·cm。

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【文章目錄】：
0 引 言
1 實(shí) 驗(yàn)
    1.1 溶膠的制備
    1.2 薄膜制備
    1.3 性能表征
2 結(jié)果與討論
    2.1 薄膜的晶體結(jié)構(gòu)分析
    2.2 薄膜表面形貌分析
    2.3 薄膜光學(xué)性能分析
    2.4 薄膜電學(xué)性能分析
3 結(jié) 論



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