發(fā)布時(shí)間：2023-04-09 02:28

　　力學(xué)敏感單元作為力學(xué)傳感檢測(cè)技術(shù)的核心單元,力敏傳感技術(shù)在航空航天、工程設(shè)施、醫(yī)療、石油開(kāi)采等生活、生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域都存在廣泛的應(yīng)用。研究了納米ZnO/PDMS復(fù)合薄膜的制備,以及復(fù)合薄膜在加速度計(jì)中的應(yīng)用。以納米ZnO顆粒為填充粒子,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)為聚合物,采用機(jī)械共混法制備了納米ZnO/PDMS復(fù)合薄膜,并研究了復(fù)合薄膜的制作工藝、微觀結(jié)構(gòu)及力敏特性;并循序漸進(jìn)地設(shè)計(jì)了復(fù)合薄膜在1G加速度內(nèi)的力敏特性測(cè)試。通過(guò)測(cè)試和計(jì)算可得實(shí)驗(yàn)中加速度計(jì)的靈敏度最大可達(dá)到0.484 p F/gn,驗(yàn)證該復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)應(yīng)用到加速度計(jì)中的可行性,為基于復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)的加速度計(jì)力敏效應(yīng)的驗(yàn)證奠定了理論依據(jù)和測(cè)試基礎(chǔ)。

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)

【文章目錄】：
1 納米復(fù)合薄膜的制備及結(jié)構(gòu)表征
    1.1 納米復(fù)合薄膜的制備
    1.2 納米Zn O/PDMS復(fù)合薄膜形貌特性表征
2 納米Zn O復(fù)合薄膜力敏特性研究
    2.1 復(fù)合薄膜的測(cè)試方法
    2.2 納米Zn O復(fù)合薄膜力敏特性測(cè)試
        2.2.1 電阻對(duì)應(yīng)力以及不同密度和尺寸的敏感
        2.2.2 電容對(duì)應(yīng)力以及不同密度和尺寸的敏感
        2.2.3 阻抗實(shí)部對(duì)應(yīng)力以及不同密度和尺寸的敏感
        2.2.4 阻抗虛部對(duì)應(yīng)力以及不同密度和尺寸的敏感
3 納米Zn O復(fù)合薄膜在加速度計(jì)中的應(yīng)用基礎(chǔ)研究
    3.1 納米Zn O敏感檢測(cè)元件的制作及測(cè)試系統(tǒng)的搭建
    3.3 納米Zn O敏感元件在加速度計(jì)上的應(yīng)用測(cè)試
        3.3.1 電阻對(duì)應(yīng)力以及不同密度和尺寸的敏感
        3.3.2 電容對(duì)應(yīng)力以及不同密度和尺寸的敏感
        3.3.3 阻抗實(shí)部對(duì)應(yīng)力以及不同密度和尺寸的敏感
        3.3.4 阻抗虛部對(duì)應(yīng)力以及不同密度和尺寸的敏感
4 結(jié)論



本文編號(hào)：3786899