發(fā)布時(shí)間：2023-04-01 05:11

　　本論文中主要制備了重稀土-過(guò)渡金屬(Dy,Tb)FeCo以及Heusler合金Co₂MnSi(CMS)薄膜,研究了不同工藝參數(shù)對(duì)薄膜的磁及結(jié)構(gòu)特性的影響。主要內(nèi)容如下:首先,采用FeCo靶與Dy片組合的鑲嵌靶,利用直流磁控濺射的方式制備出了具有較好垂直磁各向異性的DyFeCo薄膜。實(shí)驗(yàn)分析發(fā)現(xiàn),濺射功率和工作氣體流速對(duì)DyFeCo薄膜的成分影響明顯。改變?yōu)R射功率,可以制備出富過(guò)渡(TM)和富稀土(RE)兩種類(lèi)型的DyFeCo薄膜。適當(dāng)?shù)臑R射功率和工作氣體流速,可以提升DyFeCo薄膜的垂直磁各向異性。與此同時(shí),采用FeCo靶與Tb片組合的鑲嵌靶,利用射頻磁控濺射的方式成功制備出了具有垂直磁各向異性的非晶TbFeCo薄膜。通過(guò)改變?yōu)R射功率、Ta緩沖層厚度和磁性層厚度等參數(shù),實(shí)現(xiàn)了對(duì)TbFeCo薄膜垂直磁各向異性的調(diào)節(jié)。其次,在常溫下利用直流磁控濺射法制備了結(jié)構(gòu)為Si/Ta/Mg O/CMS/Ta的樣品,研究了濺射功率對(duì)CMS薄膜面內(nèi)磁特性及結(jié)構(gòu)特性的影響。熱磁特性分析發(fā)現(xiàn),當(dāng)加熱溫度達(dá)到400℃以后,薄膜的飽和磁化強(qiáng)度開(kāi)始增大,逐漸由弱磁性轉(zhuǎn)變?yōu)閺?qiáng)磁性。隨著加熱溫度...

【文章頁(yè)數(shù)】：62 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
第1章 緒論
    1.1 研究背景及意義
    1.2 重稀土-過(guò)渡族三元合金薄膜
    1.3 Co基Heusler合金Co₂MnSi
    1.4 本論文的研究?jī)?nèi)容和章節(jié)安排
第2章 薄膜的制備及表征
    2.1 磁控濺射原理
    2.2 薄膜的制備
    2.3 薄膜的表征
第3章 重稀土-過(guò)渡金屬(Dy,Tb)FeCo薄膜的制備及表征
    3.1 研究背景
    3.2 薄膜的制備
    3.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
    3.4 本章小結(jié)
第4章 Co₂MnSi合金薄膜的制備及性能研究
    4.1 研究背景
    4.2 薄膜的制備
    4.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
    4.4 本章小結(jié)
第5章 磁性多層膜的制備及表征
    5.1 研究背景
    5.2 薄膜的制備
    5.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
    5.4 本章小結(jié)
第6章 總結(jié)和展望
    6.1 本論文工作總結(jié)
    6.2 進(jìn)一步工作展望
參考文獻(xiàn)
致謝
個(gè)人簡(jiǎn)歷、在學(xué)期間的學(xué)術(shù)成果



本文編號(hào)：3776501