光電行業(yè)正在向器件柔性化和輕量化方向發(fā)展,其對(duì)透明導(dǎo)電薄膜性能與工藝等方面的要求也更為苛刻。目前,世界范圍內(nèi)研究和應(yīng)用最廣泛的透明導(dǎo)電薄膜是ITO薄膜。但是,由于銦金屬稀少且價(jià)格高昂,加上ITO透明導(dǎo)電薄膜自身的機(jī)械脆性致使其彎折易失效等缺點(diǎn),使ITO在柔性薄膜的運(yùn)用上具有很大的局限性。與ITO相比,石墨烯在透光性、穩(wěn)定性和抗彎折性能方面顯示出了其優(yōu)越性。鑒于此,本文采用石墨烯作為上下兩層ITO的中間夾層的薄膜制備方案,來調(diào)控透明導(dǎo)電薄膜整體的光電性能和機(jī)械性能,并開發(fā)出ITO/疊層石墨烯（1-5）/ITO薄膜。本文首先優(yōu)化單層ITO鍍膜工藝的本底真空度,制備出光電性能良好且厚度較薄的單層ITO薄膜。同時(shí)以CVD法制備的石墨烯為基礎(chǔ),優(yōu)化其轉(zhuǎn)移工藝,研究疊層石墨烯（1-5層）的性能和形貌演變。最后將優(yōu)化后的ITO和疊層石墨烯結(jié)合,開發(fā)出ITO/疊層石墨烯（1-5）/ITO結(jié)構(gòu)的透明導(dǎo)電薄膜,并對(duì)其性能和形貌演變進(jìn)行了一系列精細(xì)表征。結(jié)果表明,低本底真空度氛圍下磁控濺射制備ITO薄膜會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重的陰影效應(yīng),隨著厚度增加,陰影效應(yīng)加劇,會(huì)出現(xiàn)較大厚度薄膜的導(dǎo)電性不如較小厚度的情況。隨著真空腔... 

【文章頁數(shù)】：91 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 透明導(dǎo)電薄膜的研究現(xiàn)狀
        1.2.1 單層透明導(dǎo)電薄膜
        1.2.2 多層透明導(dǎo)電薄膜
    1.3 透明導(dǎo)電薄膜的制備方法
        1.3.1 物理沉積
        1.3.2 化學(xué)沉積
    1.4 透明導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用
        1.4.1 太陽能電池
        1.4.2 平面顯示器
        1.4.3 電磁屏蔽層
        1.4.4 透明視窗
        1.4.5 傳感器
    1.5 選題意義及研究內(nèi)容
第二章 技術(shù)路線與實(shí)驗(yàn)方法
    2.1 技術(shù)路線圖
    2.2 實(shí)驗(yàn)用原材料及設(shè)備
        2.2.1 實(shí)驗(yàn)材料
        2.2.2 主要儀器設(shè)備
    2.3 ITO/石墨烯/ITO透明導(dǎo)電薄膜的制備
        2.3.1 ITO/石墨烯/ITO透明導(dǎo)電薄膜的制備方法
        2.3.2 制樣的主要設(shè)備
    2.4 ITO/石墨烯/ITO透明導(dǎo)電薄膜的的分析測試方法
        2.4.1 四探針測試儀、霍爾測量儀
        2.4.2 紫外可見分光光度計(jì)
        2.4.3 場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)
        2.4.4 原子力顯微鏡(AFM)
        2.4.5 拉曼光譜儀
        2.4.6 光學(xué)顯微鏡
第三章 不同本底真空度下ITO薄膜的制備與表征
    3.1 引言
    3.2 樣品的制備及其檢測
    3.3 低本底真空度下ITO薄膜光電性能分析
        3.3.1 導(dǎo)電性能
        3.3.2 光學(xué)性能
    3.4 低本底真空度下ITO薄膜組織形貌表征
    3.5 不同本底真空度下ITO薄膜光電性能分析
        3.5.1 導(dǎo)電性能
        3.5.2 光學(xué)性能
    3.6 不同本底真空度下ITO薄膜組織形貌表征
    3.7 本章小結(jié)
第四章 ITO/G(1-5)/ITO透明導(dǎo)電薄膜的制備及表征
    4.1 引言
    4.2 樣品的制備及其檢測
        4.2.1 薄膜制備
        4.2.2 薄膜表征
    4.3 疊層石墨烯薄膜的制備與表征
    4.4 ITO/G(1-5)/ITO薄膜光電性能分析
        4.4.1 導(dǎo)電性能
        4.4.2 光學(xué)性能
    4.5 ITO/G(1-5)薄膜組織形貌表征
    4.6 本章小結(jié)
第五章 結(jié)論
    5.1 總結(jié)
    5.2 主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)
參考文獻(xiàn)
致謝
附錄
學(xué)位論文評(píng)閱及答辯情況表


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]透明導(dǎo)電氧化物薄膜材料研究進(jìn)展[J]. 劉宏燕,顏悅,望詠林,伍建華,張官理,厲蕾.  航空材料學(xué)報(bào). 2015(04)
[2]特色功能材料——透明導(dǎo)電氧化物薄膜[J]. 王華.  材料導(dǎo)報(bào). 2005(11)
[3]常溫振蕩式CO氣敏元件的研制[J]. 孫良彥，劉正繡.  鄭州輕工業(yè)學(xué)院學(xué)報(bào). 1994(S1)



本文編號(hào)：3706029