隨著電子產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展,對電子器件的材料提出了新的要求,傳統(tǒng)的剛性材料在力學(xué)性能上的弊端導(dǎo)致其應(yīng)用出現(xiàn)局限性,因此柔性電子器件迅速成為新型電子器件領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。當(dāng)前,商用的柔性電子器件不僅保留剛性器件的優(yōu)良性能,同時(shí)又具有靈活、輕質(zhì)、可彎曲、可拉伸的優(yōu)勢,在通訊、醫(yī)療、檢測等諸多方面有著廣闊的應(yīng)用前景。可穿戴電子器件在穿戴過程中不可避免地承受各種形式的外力,尤其是對拉伸下性能的穩(wěn)定性有著極大的要求。經(jīng)過長時(shí)間的研究,目前制作可拉伸電子器件的主要方法是在預(yù)拉伸的彈性襯底上生長金屬薄膜,利用金屬薄膜與彈性襯底之間楊氏模量的巨大差異,制備具有大范圍周期性褶皺形貌的薄膜,這種褶皺形貌的薄膜在承受外應(yīng)力時(shí),能夠通過褶皺結(jié)構(gòu)的伸縮有效地釋放外應(yīng)力,從而保證薄膜性能的穩(wěn)定。磁各向異性是磁性材料的重要物理性質(zhì)之一,在不同類型的磁電器件中,磁性薄膜的磁各向異性都起著重要作用。因此研究具有褶皺形貌的磁性薄膜的磁各向異性非常有必要,但至今仍然缺乏對沉積在雙軸預(yù)應(yīng)變的PDMS襯底上的磁性薄膜和器件的表面形貌和磁各向異性的研究。前人的許多研究表明,一維褶皺的表面結(jié)構(gòu)和傾斜生長均能有效地提高薄膜的磁各向異性,進(jìn)... 

【文章頁數(shù)】：66 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第一章 緒論
    1.1 柔性電子器件的發(fā)展
    1.2 可拉伸電子器件
    1.3 可拉伸磁性薄膜器件
    1.4 本論文的主要研究內(nèi)容
第二章 論文研究的理論基礎(chǔ)
    2.1 磁性材料的靜態(tài)磁性
    2.2 磁性材料的磁各向異性
    2.3 磁性材料磁各向異性的分類
    2.4 磁性薄膜高頻性能
第三章 薄膜的制備方法與表征
    3.1 超高真空磁控濺射系統(tǒng)
    3.2 X射線反射
    3.3 原子力顯微鏡
    3.4 振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)
    3.5 磁譜測量系統(tǒng)
        3.5.1 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀
        3.5.2 磁譜的測量方法
第四章 周期性結(jié)構(gòu)的Ni Fe薄膜的表面形貌和磁各向異性研究
    4.1 引言
    4.2 褶皺結(jié)構(gòu)的NiFe薄膜樣品制備方法
        4.2.1 PDMS襯底準(zhǔn)備
        4.2.2 褶皺結(jié)構(gòu)的NiFe薄膜的制備流程
    4.3 NiFe薄膜表面形貌的研究
        4.3.1 一維褶皺結(jié)構(gòu)的NiFe薄膜形貌研究
        4.3.2 二維褶皺結(jié)構(gòu)的NiFe薄膜形貌研究
    4.4 褶皺形貌的NiFe薄膜的磁性能研究
        4.4.1 一維褶皺結(jié)構(gòu)的NiFe薄膜的磁各向異性
        4.4.2 二維褶皺結(jié)構(gòu)的NiFe薄膜的磁各向異性
    4.5 磁各向異性的產(chǎn)生機(jī)理-表面磁荷機(jī)制
    4.6 本章小結(jié)
第五章 傾斜生長的NiFe薄膜的表面形貌、磁各向異性和高頻性能研究
    5.1 引言
    5.2 傾斜生長的褶皺結(jié)構(gòu)NiFe薄膜的制備
    5.3 傾斜生長的褶皺結(jié)構(gòu)NiFe薄膜的表面形貌研究
    5.4 傾斜生長的褶皺結(jié)構(gòu)NiFe薄膜磁性能研究
    5.5 傾斜生長的褶皺結(jié)構(gòu)NiFe薄膜的高頻性能研究
    5.6 本章小結(jié)
第六章 總結(jié)與展望
    論文總結(jié)
    工作展望
參考文獻(xiàn)
致謝
作者簡歷及在學(xué)期間所取得的科研成果


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]磁性薄膜微波噪聲抑制器研究進(jìn)展[J]. 汪學(xué)鋒,鐘智勇,陳棲洲,張懷武.  材料導(dǎo)報(bào). 2010(S2)
[2]納米磁性多層膜的微波電磁特性研究[J]. 馮則坤,鄧聯(lián)文,何華輝.  功能材料. 2004(01)
[3]磁阻感應(yīng)復(fù)合型薄膜磁頭[J]. 尹淑珍.  磁記錄材料. 1991(02)
[4]連續(xù)薄膜型高密度磁記錄介質(zhì)的研究[J]. 楊正.  磁性材料及器件. 1985(02)

博士論文
[1]薄膜變壓器與電感器研究[D]. 劉保元.電子科技大學(xué) 2007

碩士論文
[1]軟磁薄膜的高頻磁性測試方法研究及其在坡莫合金薄膜研究中的應(yīng)用[D]. 魏晉武.蘭州大學(xué) 2017



本文編號：3688422