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氮化鉬基薄膜的制備及其在寬溫域環(huán)境下的摩擦學(xué)性能研究

發(fā)布時(shí)間:2022-08-10 16:00
  隨著我國經(jīng)濟(jì)建設(shè)的進(jìn)一步發(fā)展,帶動(dòng)航空航天領(lǐng)域等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,對高溫、變溫等苛刻環(huán)境下的零部件提出了更高的要求,研制適用于寬溫域環(huán)境下具有低摩擦系數(shù)和低磨損率的高溫固體潤滑材料迫在眉睫。本論文基于多潤滑相復(fù)配和薄膜表面原位自生潤滑相的協(xié)同機(jī)理,制備出具有寬溫域潤滑功能的新型固體潤滑薄膜。研究了不同潤滑相的復(fù)配對固體潤滑薄膜的組織及寬溫域摩擦磨損性能的影響,闡明了寬溫域條件下不同潤滑相的磨損機(jī)理。利用磁控濺射技術(shù)在N2氣氛中沉積了三類MoN基薄膜,并對不同薄膜的化學(xué)成分、顯微結(jié)構(gòu)、硬度和彈性模量進(jìn)行了測試分析。利用高溫摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)測試了薄膜的寬溫域摩擦磨損性能。通過對摩擦試驗(yàn)后的磨痕進(jìn)行更深入的分析表征,研究了不同溫度環(huán)境下薄膜的摩擦學(xué)機(jī)理。基于MoN和VN高溫氧化生成的MoO3和V2O5易剪切相,制備出了MoVN復(fù)合薄膜。通過改變V靶電流,調(diào)控薄膜中Mo和V原子的百分比含量,研究了不同MoVN復(fù)合薄膜的顯微結(jié)構(gòu)、硬度、彈性模量及摩擦學(xué)性能。結(jié)果表明,二元氮化物薄膜(MoN和VN)具有較差... 

【文章頁數(shù)】:78 頁

【學(xué)位級別】:碩士

【部分圖文】:

氮化鉬基薄膜的制備及其在寬溫域環(huán)境下的摩擦學(xué)性能研究


MoVN薄膜的表面和橫截面顯微圖:(a,f)MoN,(b,g)Mo67V4N29,(c,h)Mo52V22N26,(d,i)

氮化鉬基薄膜的制備及其在寬溫域環(huán)境下的摩擦學(xué)性能研究


MoVN薄膜的表面粗糙度:(a)MoN,(b)Mo67V4N29,(c)Mo52V22N26,(d)Mo49V26N25和(e)VN.

氮化鉬基薄膜的制備及其在寬溫域環(huán)境下的摩擦學(xué)性能研究


MoVN薄膜的硬度和彈性模量圖(a)、H/E和H3/E2比值圖(b)

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]不同調(diào)制周期MoS2/DLC多層薄膜結(jié)構(gòu)及摩擦學(xué)性能[J]. 賀騰飛,吳有智,許佼,慕波,柴利強(qiáng),張曉琴,王鵬.  摩擦學(xué)學(xué)報(bào). 2017(01)
[2]含銀硬質(zhì)涂層高溫摩擦學(xué)性能的研究進(jìn)展[J]. 何鵬飛,王海斗,馬國政,雍青松,陳書贏,徐濱士.  中國有色金屬學(xué)報(bào). 2015(11)
[3]寬溫域連續(xù)潤滑材料的研究進(jìn)展[J]. 劉二勇,賈均紅,高義民,曾志翔,烏學(xué)東.  中國表面工程. 2015(04)
[4]納米壓痕技術(shù)及其應(yīng)用[J]. 黎明,溫詩鑄.  中國機(jī)械工程. 2002(16)
[5]高溫固體潤滑研究的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢[J]. 薛群基,呂晉軍.  摩擦學(xué)學(xué)報(bào). 1999(01)

博士論文
[1]自潤滑氮化釩基復(fù)合涂層制備及寬溫域摩擦磨損特性研究[D]. 慕永濤.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2017

碩士論文
[1]TiALCN/AgVN自適應(yīng)涂層制備及摩擦學(xué)性能研究[D]. 仇月東.東南大學(xué) 2015



本文編號:3673931

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