聚氯代對二甲苯膜（Parylene C膜,簡稱PPXC膜）因其優(yōu)良的機械性能、介電性能、耐溶劑性和防潮性等,廣泛應用于半導體器件、微電子器件、材料防潮保護等領(lǐng)域。但由于人們對電子器件防潮阻隔性能要求的提高以及PPXC膜表面的低疏水性限制了其更進一步的應用,因此探索如何提高PPXC膜的表面疏水性和水蒸氣阻隔性能,從而阻止水滴對儀器設備的腐蝕是有意義的。本論文對涂覆有不同疏水涂層PPXC膜的表面形貌及潤濕性進行了系統(tǒng)研究,并研究了其表面疏水性和水蒸氣阻隔性能之間的關(guān)系。主要工作和研究結(jié)果如下:（1）將納米二氧化硅（Si O₂）作為填料涂覆在PPXC膜表面,研究不同粒徑和親疏水性納米Si O₂顆粒對薄膜表面物理形貌和潤濕性的影響。結(jié)果表明:與粒徑為500 nm的Si O₂顆粒相比,粒徑為20 nm的Si O₂顆粒對涂層表面疏水性改善的效果更加明顯,隨著加入Si O₂顆粒粒徑的減小,涂層的水接觸角（WCA）可以從128°增加至154°;疏水性的納米Si O₂顆粒更... 

【文章來源】：西南科技大學四川省

【文章頁數(shù)】：67 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
1 緒論
    1.1 聚氯代對二甲苯膜
    1.2 聚氯代對二甲苯膜的應用
    1.3 聚對二甲苯系列膜表面疏水性的研究現(xiàn)狀
    1.4 呼吸圖案法及其在薄膜表面潤濕性調(diào)控中的應用
    1.5 課題的研究思路和主要內(nèi)容
        1.5.1 課題研究的目的和意義
        1.5.2 課題研究的主要內(nèi)容
        1.5.3 課題的創(chuàng)新點
2 不同涂層PPXC膜的制備與表征
    2.1 實驗設備
        2.1.1 浸涂機
        2.1.2 恒溫恒濕試驗箱
    2.2 不同涂層PPXC膜的制備過程
        2.2.1 PPXC膜表面不同涂層的涂覆
        2.2.2 不同涂層的固化
    2.3 材料表征手段
        2.3.1 差示掃描量熱儀(DSC)
        2.3.2 傅里葉轉(zhuǎn)換紅外光譜(FT-IR)
        2.3.3 掃描電子顯微鏡(SEM)
        2.3.4 原子力顯微鏡(AFM)
        2.3.5 接觸角測量儀
        2.3.6 水蒸氣透過率測試儀
3 納米SiO_2顆粒對涂層表面形貌及潤濕性的影響
    3.1 具有不同納米SiO_2顆粒涂層樣品的制備
    3.2 不同納米SiO_2涂層樣品表征
        3.2.1 不同納米SiO_2涂層表面形貌分析
        3.2.2 不同納米SiO_2涂層表面潤濕性分析
    3.3 結(jié)果與討論
        3.3.1 不同粒徑的納米SiO_2對涂層表面潤濕性的影響
        3.3.2 不同粒徑的納米SiO_2對涂層表面形貌的影響
        3.3.3 不同親疏水性的納米SiO_2對涂層表面潤濕性的影響
        3.3.4 不同親疏水性的納米SiO_2對涂層表面形貌的影響
    3.4 本章小結(jié)
4 表面潤濕性可控PPXC膜的研究
    4.1 表面潤濕性可控PPXC膜制備參數(shù)控制
    4.2 表面潤濕性可控PPXC膜樣品表征
        4.2.1 差示掃描量熱法(DSC)分析
        4.2.2 傅里葉變換紅外(FT-IR)分析
        4.2.3 表面形貌分析
        4.2.4 表面接觸角分析
    4.3 結(jié)果與討論
        4.3.1 溫度、濕度和SiO_2含量對PDMS固化行為的影響
        4.3.2 PPXC膜上PDMS/SiO_2涂層在不同條件下的形貌演化
        4.3.3 PPXC膜上PDMS/SiO_2涂層在不同條件下的形貌演變機理
        4.3.4 PPXC膜上PDMS/SiO_2涂層在不同條件下的表面潤濕性
    4.4 本章小結(jié)
5 多孔PPXC膜的表面潤濕性和水汽阻隔性能研究
    5.1 大面積均勻多孔PPXC膜樣品制備
    5.2 具有多孔涂層PPXC膜樣品的表征
        5.2.1 表面潤濕性分析
        5.2.2 涂層表面的化學組成和物理形貌分析
        5.2.3 水汽阻隔性能分析
    5.3 結(jié)果與討論
        5.3.1 PPXC膜上不同質(zhì)量濃度PDMS涂層的表面潤濕性
        5.3.2 RH為55%時PPXC膜表面的化學組成和物理形貌
        5.3.3 RH為75%時PPXC膜表面的化學組成和物理形貌
        5.3.4 均勻多孔高疏水PPXC膜的水蒸氣阻隔性能
    5.4 本章小結(jié)
6 結(jié)論與展望
    6.1 主要結(jié)論
    6.2 今后的研究工作展望
致謝
參考文獻
攻讀碩士期間發(fā)表的學術(shù)論文及研究成果


【參考文獻】：
期刊論文
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[3]熱處理對Parylene C薄膜性能的影響[J]. 吉祥波,鮮曉斌,唐賢臣,帥茂兵,趙宗峰.  現(xiàn)代塑料加工應用. 2007(04)
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本文編號：3643448