PDMS-金屬薄膜摩擦式壓電轉(zhuǎn)換及壓力檢測(cè)性能研究
發(fā)布時(shí)間:2022-01-28 00:45
壓力檢測(cè)技術(shù)在水下工程領(lǐng)域有著廣泛的需求,如船舶吃水深度檢測(cè)、水下機(jī)器人狀態(tài)監(jiān)測(cè)等。當(dāng)前,人們普遍使用具有壓電效應(yīng)的固體材料或以PVDF(聚偏氟乙烯)為代表的聚合物薄膜材料,將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)。但固體材料脆性強(qiáng),抗沖擊性能較差,易斷裂,且不適合用于活動(dòng)機(jī)械關(guān)節(jié)。為產(chǎn)生壓電效應(yīng),PVDF薄膜需要進(jìn)行極化處理,并且在使用過程中易受壓力之外的其它環(huán)境參數(shù)(如溫度)的影響。本文提出了—種利用PDMS(聚二甲基硅氧烷)與金屬薄膜在壓力作用下相互摩擦進(jìn)行壓電信號(hào)轉(zhuǎn)換的方法,分析了其工作機(jī)理,通過實(shí)驗(yàn)和數(shù)值模擬的方法,系統(tǒng)研究了其壓力檢測(cè)的性能。具體來看,本文的主要研究內(nèi)容有:(1)設(shè)計(jì)了基于PDMS-金屬薄膜復(fù)合電極的壓力檢測(cè)系統(tǒng),并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。研究結(jié)果表明:檢測(cè)電極的輸出電壓與施加在電極表面的壓力成正比。當(dāng)載荷從0線性增加到5g時(shí),厚度為1mm復(fù)合電極的輸出電壓從0V線性增加到0.08V,并且輸出電壓曲線斜率正比于載荷的變化率。此外,輸出電壓的幅值隨PDMS薄膜厚度的增加而減小。當(dāng)PDMS薄膜厚度100μm,注射泵速度0.7mL/min,動(dòng)載荷檢測(cè)的輸出電壓均值為0.9V,而PDMS厚度...
【文章來源】:大連海事大學(xué)遼寧省211工程院校
【文章頁數(shù)】:75 頁
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
圖1.2電阻式壓力傳感器原理圖??Fig.?1.2?Schematic?diagram?of?resistance?pressure?sensor??
目前傳統(tǒng)的滑油壓力傳感器是電容式差壓??傳感器。一般電容器的主要結(jié)構(gòu)包含:絕緣介質(zhì)、平型金屬板。電容量的一般算法如式??1.3所示:??c?=?-?(1.?3)??d??式中:e為電容極板間的介電常數(shù),其中如為真空介電常數(shù),為極板間介??質(zhì)相對(duì)介電常數(shù),A為兩平行板所覆蓋的面積,d為兩平行板之間的距離。因此根據(jù)影??響電容器的主要變量,衍生出變極距式電容器、變面積電容器、變介質(zhì)電容器:??(1)變極距型電容傳感器??如式1.3中所示,改變平行板之間的距離能夠改變電容器的電容。圖1.3為變極距??型電容式傳感器原理圖,分為單一型以及差動(dòng)型兩種,動(dòng)極板相對(duì)定極板位置的改變導(dǎo)??致電容器電極間距的改變從而引起電容量的改變。??#?S?定極板??s?|?動(dòng)極板??d?,£-?尋?Ad??魯?////////////??i?定極板??''?I?|?'?*??;<a)?.?.?!?.?(b)?.??|?:,?卜??圖1.3變極距電容傳感器(a)單一型;(b)差動(dòng)型??Fig.?1.3?Variable?polar?distance?capacitance?sensor?(a)?Single?electrode?type;?(b)?Differential?type??單一型電容傳感器靈敏度:/cdl=g?=?4?(1.4)??d0??I?.?-5-??
?大連海事大學(xué)碩士學(xué)位論文???氣??.2C〇??差動(dòng)型電容傳感器靈敏度:4?=罟=考?a.?5)??相較而言差動(dòng)型電容傳感器的靈敏度以及信號(hào)線性度比較好。因此差動(dòng)型壓力傳感??器在船舶柴油機(jī)的滑油壓力檢測(cè)中有著廣泛應(yīng)用。??如圖1.4所示為傳統(tǒng)的差動(dòng)型電容傳感器的結(jié)構(gòu)圖,包含:隔離膜片、檢測(cè)膜片、??定極板、絕緣體、硅油。隔離膜片與裝置體共同構(gòu)成一個(gè)腔體,腔體中充滿硅油,定極??板位于絕緣體內(nèi)表面,動(dòng)極板為一個(gè)可形變的檢測(cè)薄膜。當(dāng)隔離膜片受到的壓力發(fā)生變??化時(shí),隔離膜片發(fā)生形變,由于硅油不可壓縮,隔離膜的形變會(huì)將壓力傳導(dǎo)至檢測(cè)薄膜??上,壓力的變化引起檢測(cè)薄膜發(fā)生形變,該形變引起檢測(cè)膜片與定極板的距離發(fā)生變化,??從而引起電容Ci、(:2發(fā)生變化。電容的變化量通過檢測(cè)電路測(cè)得從而反映出壓力的變??化。通過調(diào)節(jié)檢測(cè)薄膜以及隔離膜片的繃緊程度以調(diào)節(jié)檢測(cè)裝置的靈敏度、量程、以及??信號(hào)線性度。???'?。??觀敝■?Jl謂??m?mJ?一2??裝置截’?’一乙 ̄ ̄’?^’?丨??圖1.4差動(dòng)型電容傳感器??Fig.?1.4?Differential?capacitance?sensor??-6-??
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]State-of-the-art and recent developments in micro/nanoscale pressure sensors for smart wearable devices and health monitoring systems[J]. Ye Chang,Jingjing Zuo,Hainan Zhang,Xuexin Duan. Nanotechnology and Precision Engineering. 2020(01)
[2]鍋爐壓力容器的無損檢測(cè)分析[J]. 于曉成. 化工管理. 2020(08)
[3]石墨烯壓阻復(fù)合材料及其在裂紋監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用[J]. 吳志強(qiáng),衛(wèi)軍,董榮珍. 浙江大學(xué)學(xué)報(bào)(工學(xué)版). 2020(02)
[4]基于石墨烯壓阻效應(yīng)的壓力傳感器研究進(jìn)展[J]. 李方清,李龍飛,王德波. 微電子學(xué). 2020(01)
[5]橡膠壓縮Mooney-Rivilin本構(gòu)模型參數(shù)擬合分析[J]. 屠璐瓊,吳佳釘,胡清波. 噪聲與振動(dòng)控制. 2020(01)
[6]基于單片機(jī)的電容傳感器測(cè)量油箱油量方法的研究[J]. 徐宇茹,趙鵬,汪秀莉. 工業(yè)儀表與自動(dòng)化裝置. 2020(01)
[7]基于絕對(duì)式的壓力電測(cè)系統(tǒng)準(zhǔn)靜態(tài)校準(zhǔn)方法分析[J]. 陳靜,孔德仁,郭彬,陳金剛,褚俊英,項(xiàng)璟. 儀表技術(shù)與傳感器. 2020(01)
[8]觸覺傳感器研究現(xiàn)狀與展望[J]. 包玉龍,徐斌,舒昊鑫,程芳,胡鑫,黃博. 裝備制造技術(shù). 2019(11)
[9]柔性可穿戴電子傳感器的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)[J]. 吳玉婷,潘志娟. 現(xiàn)代絲綢科學(xué)與技術(shù). 2019(05)
[10]基于足底壓力信號(hào)的步態(tài)識(shí)別[J]. 韓亞麗,吳振宇,徐泳龍,張猛,沈培. 計(jì)量學(xué)報(bào). 2019(05)
博士論文
[1]基于摩擦納米發(fā)電的能量采集器及傳感器[D]. 劉招賢.北京郵電大學(xué) 2019
[2]聚硅氮烷轉(zhuǎn)化SiCN陶瓷結(jié)構(gòu)性能及傳感器應(yīng)用[D]. 馬百勝.西北工業(yè)大學(xué) 2018
[3]高介電常數(shù)復(fù)合彈性體的制備及其在柔性傳感器領(lǐng)域的應(yīng)用[D]. 王根林.揚(yáng)州大學(xué) 2017
[4]光纖EFPI傳感器系統(tǒng)及其在油氣井中應(yīng)用的研究[D]. 王曉娜.大連理工大學(xué) 2008
碩士論文
[1]電紡微納米纖維材料在壓電傳感器及柔性可拉伸電極中的應(yīng)用[D]. 郭文哲.青島大學(xué) 2019
[2]基于PVDF-TrFE/ZnO復(fù)合薄膜的柔性壓電傳感器的制備及性能研究[D]. 趙春毛.中北大學(xué) 2019
[3]壓電/壓阻雙模式柔性壓力傳感器動(dòng)/靜態(tài)力學(xué)信息檢測(cè)[D]. 王有巖.浙江工業(yè)大學(xué) 2019
[4]PVDF/BNBT復(fù)合納米纖維及柔性壓電傳感器制備研究[D]. 陳小秋.上海師范大學(xué) 2019
[5]基于丙烯腈柔性壓電材料的制備及其在可穿戴傳感器上的應(yīng)用[D]. 付如民.華南理工大學(xué) 2019
[6]基于PDMS復(fù)合介電層的電容式柔性壓力傳感器研究[D]. 杜青.太原理工大學(xué) 2018
[7]陶瓷壓阻式壓力傳感器設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[D]. 王風(fēng)雷.杭州電子科技大學(xué) 2018
[8]摩擦發(fā)電與自供電壓力傳感器設(shè)計(jì)及應(yīng)用研究[D]. 楊恒山.東南大學(xué) 2018
[9]超柔性PDMS復(fù)合材料及其柔性壓力傳感器應(yīng)用研究[D]. 李俊鵬.電子科技大學(xué) 2018
[10]基于模糊理論的CB18柴油油泵診斷研究[D]. 談德榮.上海交通大學(xué) 2017
本文編號(hào):3613376
【文章來源】:大連海事大學(xué)遼寧省211工程院校
【文章頁數(shù)】:75 頁
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
圖1.2電阻式壓力傳感器原理圖??Fig.?1.2?Schematic?diagram?of?resistance?pressure?sensor??
目前傳統(tǒng)的滑油壓力傳感器是電容式差壓??傳感器。一般電容器的主要結(jié)構(gòu)包含:絕緣介質(zhì)、平型金屬板。電容量的一般算法如式??1.3所示:??c?=?-?(1.?3)??d??式中:e為電容極板間的介電常數(shù),其中如為真空介電常數(shù),為極板間介??質(zhì)相對(duì)介電常數(shù),A為兩平行板所覆蓋的面積,d為兩平行板之間的距離。因此根據(jù)影??響電容器的主要變量,衍生出變極距式電容器、變面積電容器、變介質(zhì)電容器:??(1)變極距型電容傳感器??如式1.3中所示,改變平行板之間的距離能夠改變電容器的電容。圖1.3為變極距??型電容式傳感器原理圖,分為單一型以及差動(dòng)型兩種,動(dòng)極板相對(duì)定極板位置的改變導(dǎo)??致電容器電極間距的改變從而引起電容量的改變。??#?S?定極板??s?|?動(dòng)極板??d?,£-?尋?Ad??魯?////////////??i?定極板??''?I?|?'?*??;<a)?.?.?!?.?(b)?.??|?:,?卜??圖1.3變極距電容傳感器(a)單一型;(b)差動(dòng)型??Fig.?1.3?Variable?polar?distance?capacitance?sensor?(a)?Single?electrode?type;?(b)?Differential?type??單一型電容傳感器靈敏度:/cdl=g?=?4?(1.4)??d0??I?.?-5-??
?大連海事大學(xué)碩士學(xué)位論文???氣??.2C〇??差動(dòng)型電容傳感器靈敏度:4?=罟=考?a.?5)??相較而言差動(dòng)型電容傳感器的靈敏度以及信號(hào)線性度比較好。因此差動(dòng)型壓力傳感??器在船舶柴油機(jī)的滑油壓力檢測(cè)中有著廣泛應(yīng)用。??如圖1.4所示為傳統(tǒng)的差動(dòng)型電容傳感器的結(jié)構(gòu)圖,包含:隔離膜片、檢測(cè)膜片、??定極板、絕緣體、硅油。隔離膜片與裝置體共同構(gòu)成一個(gè)腔體,腔體中充滿硅油,定極??板位于絕緣體內(nèi)表面,動(dòng)極板為一個(gè)可形變的檢測(cè)薄膜。當(dāng)隔離膜片受到的壓力發(fā)生變??化時(shí),隔離膜片發(fā)生形變,由于硅油不可壓縮,隔離膜的形變會(huì)將壓力傳導(dǎo)至檢測(cè)薄膜??上,壓力的變化引起檢測(cè)薄膜發(fā)生形變,該形變引起檢測(cè)膜片與定極板的距離發(fā)生變化,??從而引起電容Ci、(:2發(fā)生變化。電容的變化量通過檢測(cè)電路測(cè)得從而反映出壓力的變??化。通過調(diào)節(jié)檢測(cè)薄膜以及隔離膜片的繃緊程度以調(diào)節(jié)檢測(cè)裝置的靈敏度、量程、以及??信號(hào)線性度。???'?。??觀敝■?Jl謂??m?mJ?一2??裝置截’?’一乙 ̄ ̄’?^’?丨??圖1.4差動(dòng)型電容傳感器??Fig.?1.4?Differential?capacitance?sensor??-6-??
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]State-of-the-art and recent developments in micro/nanoscale pressure sensors for smart wearable devices and health monitoring systems[J]. Ye Chang,Jingjing Zuo,Hainan Zhang,Xuexin Duan. Nanotechnology and Precision Engineering. 2020(01)
[2]鍋爐壓力容器的無損檢測(cè)分析[J]. 于曉成. 化工管理. 2020(08)
[3]石墨烯壓阻復(fù)合材料及其在裂紋監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用[J]. 吳志強(qiáng),衛(wèi)軍,董榮珍. 浙江大學(xué)學(xué)報(bào)(工學(xué)版). 2020(02)
[4]基于石墨烯壓阻效應(yīng)的壓力傳感器研究進(jìn)展[J]. 李方清,李龍飛,王德波. 微電子學(xué). 2020(01)
[5]橡膠壓縮Mooney-Rivilin本構(gòu)模型參數(shù)擬合分析[J]. 屠璐瓊,吳佳釘,胡清波. 噪聲與振動(dòng)控制. 2020(01)
[6]基于單片機(jī)的電容傳感器測(cè)量油箱油量方法的研究[J]. 徐宇茹,趙鵬,汪秀莉. 工業(yè)儀表與自動(dòng)化裝置. 2020(01)
[7]基于絕對(duì)式的壓力電測(cè)系統(tǒng)準(zhǔn)靜態(tài)校準(zhǔn)方法分析[J]. 陳靜,孔德仁,郭彬,陳金剛,褚俊英,項(xiàng)璟. 儀表技術(shù)與傳感器. 2020(01)
[8]觸覺傳感器研究現(xiàn)狀與展望[J]. 包玉龍,徐斌,舒昊鑫,程芳,胡鑫,黃博. 裝備制造技術(shù). 2019(11)
[9]柔性可穿戴電子傳感器的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)[J]. 吳玉婷,潘志娟. 現(xiàn)代絲綢科學(xué)與技術(shù). 2019(05)
[10]基于足底壓力信號(hào)的步態(tài)識(shí)別[J]. 韓亞麗,吳振宇,徐泳龍,張猛,沈培. 計(jì)量學(xué)報(bào). 2019(05)
博士論文
[1]基于摩擦納米發(fā)電的能量采集器及傳感器[D]. 劉招賢.北京郵電大學(xué) 2019
[2]聚硅氮烷轉(zhuǎn)化SiCN陶瓷結(jié)構(gòu)性能及傳感器應(yīng)用[D]. 馬百勝.西北工業(yè)大學(xué) 2018
[3]高介電常數(shù)復(fù)合彈性體的制備及其在柔性傳感器領(lǐng)域的應(yīng)用[D]. 王根林.揚(yáng)州大學(xué) 2017
[4]光纖EFPI傳感器系統(tǒng)及其在油氣井中應(yīng)用的研究[D]. 王曉娜.大連理工大學(xué) 2008
碩士論文
[1]電紡微納米纖維材料在壓電傳感器及柔性可拉伸電極中的應(yīng)用[D]. 郭文哲.青島大學(xué) 2019
[2]基于PVDF-TrFE/ZnO復(fù)合薄膜的柔性壓電傳感器的制備及性能研究[D]. 趙春毛.中北大學(xué) 2019
[3]壓電/壓阻雙模式柔性壓力傳感器動(dòng)/靜態(tài)力學(xué)信息檢測(cè)[D]. 王有巖.浙江工業(yè)大學(xué) 2019
[4]PVDF/BNBT復(fù)合納米纖維及柔性壓電傳感器制備研究[D]. 陳小秋.上海師范大學(xué) 2019
[5]基于丙烯腈柔性壓電材料的制備及其在可穿戴傳感器上的應(yīng)用[D]. 付如民.華南理工大學(xué) 2019
[6]基于PDMS復(fù)合介電層的電容式柔性壓力傳感器研究[D]. 杜青.太原理工大學(xué) 2018
[7]陶瓷壓阻式壓力傳感器設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[D]. 王風(fēng)雷.杭州電子科技大學(xué) 2018
[8]摩擦發(fā)電與自供電壓力傳感器設(shè)計(jì)及應(yīng)用研究[D]. 楊恒山.東南大學(xué) 2018
[9]超柔性PDMS復(fù)合材料及其柔性壓力傳感器應(yīng)用研究[D]. 李俊鵬.電子科技大學(xué) 2018
[10]基于模糊理論的CB18柴油油泵診斷研究[D]. 談德榮.上海交通大學(xué) 2017
本文編號(hào):3613376
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