拾取指定長度的半導(dǎo)體性碳納米管對大規(guī)模制造碳納米管場效應(yīng)管具有重要意義.本文提出了一種利用原子力顯微鏡探針和鎢針對碳納米管進(jìn)行可控長度拾取的方法并進(jìn)行了碳納米管導(dǎo)電性分析.在掃描電子顯微鏡下搭建微納操作系統(tǒng),針對切割操作過程中原子力顯微鏡探針、鎢針和碳納米管的接觸情況進(jìn)行了力學(xué)建模和拾取長度誤差分析.建立了單根金屬性碳納米管、單根半導(dǎo)體性碳納米管及碳納米管束與鎢針接觸的電路模型,推導(dǎo)了接入不同性質(zhì)碳納米管后電路的電流電壓特性方程.使用原子力顯微鏡探針對碳納米管的空間位姿進(jìn)行調(diào)整,控制鎢針對碳納米管上目標(biāo)位置進(jìn)行通電切割,同時獲取切割電路中的電流電壓數(shù)據(jù).實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,本文提出的方法能夠有效控制所拾取碳納米管的長度,增加碳納米管與原子力顯微鏡探針的水平接觸長度能夠減小碳納米管形變導(dǎo)致的拾取長度誤差,建立的電流電壓特性方程能夠用于分析碳納米管的導(dǎo)電性. 

【文章來源】：物理學(xué)報. 2020,69(06)北大核心EISCICSCD

【文章頁數(shù)】：10 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于掃描電子顯微鏡的碳納米管拾取操作方法研究[J]. 楊權(quán),馬立,楊斌,丁匯洋,陳濤,楊湛,孫立寧,福田敏男.  物理學(xué)報. 2018(13)
[2]基于異質(zhì)雙柵電極結(jié)構(gòu)提高碳納米管場效應(yīng)晶體管電子輸運(yùn)效率[J]. 劉興輝,趙宏亮,李天宇,張仁,李松杰,葛春華.  物理學(xué)報. 2013(14)
[3]形變碳納米管場效應(yīng)晶體管的電學(xué)性質(zhì)[J]. 劉紅,印海建,夏樹寧.  物理學(xué)報. 2009(12)



本文編號：3588892