拾取指定長(zhǎng)度的半導(dǎo)體性碳納米管對(duì)大規(guī)模制造碳納米管場(chǎng)效應(yīng)管具有重要意義.本文提出了一種利用原子力顯微鏡探針和鎢針對(duì)碳納米管進(jìn)行可控長(zhǎng)度拾取的方法并進(jìn)行了碳納米管導(dǎo)電性分析.在掃描電子顯微鏡下搭建微納操作系統(tǒng),針對(duì)切割操作過程中原子力顯微鏡探針、鎢針和碳納米管的接觸情況進(jìn)行了力學(xué)建模和拾取長(zhǎng)度誤差分析.建立了單根金屬性碳納米管、單根半導(dǎo)體性碳納米管及碳納米管束與鎢針接觸的電路模型,推導(dǎo)了接入不同性質(zhì)碳納米管后電路的電流電壓特性方程.使用原子力顯微鏡探針對(duì)碳納米管的空間位姿進(jìn)行調(diào)整,控制鎢針對(duì)碳納米管上目標(biāo)位置進(jìn)行通電切割,同時(shí)獲取切割電路中的電流電壓數(shù)據(jù).實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,本文提出的方法能夠有效控制所拾取碳納米管的長(zhǎng)度,增加碳納米管與原子力顯微鏡探針的水平接觸長(zhǎng)度能夠減小碳納米管形變導(dǎo)致的拾取長(zhǎng)度誤差,建立的電流電壓特性方程能夠用于分析碳納米管的導(dǎo)電性. 

【文章來源】：物理學(xué)報(bào). 2020,69(06)北大核心EISCICSCD

【文章頁數(shù)】：10 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于掃描電子顯微鏡的碳納米管拾取操作方法研究[J]. 楊權(quán),馬立,楊斌,丁匯洋,陳濤,楊湛,孫立寧,福田敏男.  物理學(xué)報(bào). 2018(13)
[2]基于異質(zhì)雙柵電極結(jié)構(gòu)提高碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管電子輸運(yùn)效率[J]. 劉興輝,趙宏亮,李天宇,張仁,李松杰,葛春華.  物理學(xué)報(bào). 2013(14)
[3]形變碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管的電學(xué)性質(zhì)[J]. 劉紅,印海建,夏樹寧.  物理學(xué)報(bào). 2009(12)



本文編號(hào)：3588892