采用磁控濺射技術(shù)在304不銹鋼薄片與單晶硅片上沉積制備了一系列Ag含量不同的氮化物復(fù)合膜,利用一系列的檢測設(shè)備對實(shí)驗(yàn)制備不同復(fù)合膜的微觀相結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能以及各溫度下摩擦磨損性能進(jìn)行表征測量,利用的設(shè)備為納米壓痕儀、X射線衍射儀（XRD）、高溫摩擦磨損試驗(yàn)儀、掃描電子顯微鏡（SEM）及其能譜儀、三維形貌儀、透射電子顯微鏡（TEM）。綜合研究了軟質(zhì)貴金屬Ag元素對WNbN-Ag復(fù)合膜、NbN-Ag復(fù)合膜以及VCN-Ag復(fù)合膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能以及各溫度下的摩擦性能的影響,研究結(jié)果如下:對于不同Ag含量的WNbN-Ag復(fù)合膜的研究表明:WNbN-Ag復(fù)合膜由面心立方WNbN、面心立方NbN、六方NbN、單質(zhì)相Ag四相結(jié)構(gòu)組成。隨著Ag含量的增加,WNbN-Ag復(fù)合膜的硬度和彈性模量均逐漸下降。室溫下,隨著薄膜中Ag元素含量的增多,WNbN-Ag復(fù)合膜的摩擦系數(shù)表現(xiàn)出了先增大后減小的趨勢,磨損率也隨著Ag含量的增加而逐漸增大。在300℃-700℃的溫度范圍內(nèi),隨著環(huán)境溫度的不斷升高,WNbN-Ag復(fù)合膜的摩擦系數(shù)表現(xiàn)出了逐漸減小的趨勢,磨損率則逐漸增大。根據(jù)研究結(jié)果發(fā)現(xiàn),Ag有效改善了WNb... 

【文章來源】：江蘇科技大學(xué)江蘇省

【文章頁數(shù)】：83 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

超晶格薄膜的結(jié)構(gòu)示意圖

圖 2.1 入射離子轟擊表面的示意圖Fig.2.1 The interaction between irons and solid surfac室進(jìn)行鍍膜濺射實(shí)驗(yàn)所采用的設(shè)備為中科院

圖 2.2 JGP-450 復(fù)合型高真空多靶磁控濺射儀 composite type high vacuum multi target magnetron sp

【參考文獻(xiàn)】：
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碩士論文
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本文編號：3584747