采用反應磁控濺射工藝在Si基體上沉積了不同調制周期的CrAlN/WS₂納米多層膜,采用X射線衍射儀（XRD）、高分辨透射電子顯微鏡（HRTEM）、納米壓痕儀和HSR-2M涂層摩擦磨損試驗機、掃描電子顯微鏡（SEM）,研究了調制周期對CrAlN/WS₂納米多層膜微觀結構和力學性能的影響。研究結果表明,WS₂層厚度低于0.8nm時,六方結構的WS₂在CrAlN的模板作用下轉變?yōu)锽1-NaCl型面心立方結構并與CrAlN層發(fā)生共格外延生長,使薄膜得到強化,在WS₂層厚度為0.8nm時,薄膜硬度和彈性模量達到最大,分別為37.3和341.2GPa。隨著WS₂層厚度的進一步增加,WS₂又轉變回六方結構,使薄膜共格外延生長結構破壞,結晶度降低,耐磨性增強,硬度和彈性模量減小。CrAlN/WS₂納米多層膜的摩擦系數(shù)均在0.2⁰.3之間,遠低于單層CrAlN的摩擦系數(shù)的0.6,磨損率亦明顯減小。獲得了綜合力... 

【文章來源】：功能材料. 2016,47(12)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 實驗
    1.1 薄膜的制備
    1.2 薄膜的表征
2 結果與討論
    2.1 WS2層厚度對CrAlN/WS2納米多層膜微觀結構的影響
    2.2 WS2層厚度對CrAlN/WS2納米多層膜硬度和彈性模量的影響
    2.3 WS2層厚度對CrAlN/WS2納米多層膜摩擦磨損性能的影響
3 結論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]WS2薄膜/空間液體潤滑劑復合潤滑體系的摩擦學性能研究[J]. 權鑫,孫嘉奕,翁立軍.  摩擦學學報. 2014(06)
[2]陶瓷硬質納米多層膜研究進展[J]. 孔明,岳建嶺,李戈揚.  無機材料學報. 2010(02)
[3]納米表面工程的進展與展望[J]. 徐濱士,劉世參,梁秀兵.  機械工程學報. 2003(10)



本文編號：3575104