半導(dǎo)體金屬氧化物納米材料的制備及氣敏性能研究
發(fā)布時間:2021-11-07 05:24
隨著社會的不斷進(jìn)步、人們生活水平的不斷改善,人們越發(fā)的關(guān)注身邊的環(huán)境安全及自己的身心健康。傳感器作為信息獲取的重要器件,成為現(xiàn)代科技的一大產(chǎn)業(yè)。氣體傳感器作為傳感器的一個重要分支,在大氣監(jiān)測、防災(zāi)報警、食品安全和醫(yī)療診斷等領(lǐng)域有了廣泛的應(yīng)用。氣敏材料是氣體傳感器的核心部分,是影響氣體傳感器性能的一個重要因素,其中金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器因制備簡單、價格低廉、性能穩(wěn)定等優(yōu)點得到了人們的廣泛關(guān)注。本論文主要從提高金屬氧化物半導(dǎo)體材料的氣敏性能入手,圍繞氣體傳感器在檢測氣體時存在的各種問題。通過調(diào)控材料的微觀結(jié)構(gòu)、貴金屬修飾、元素?fù)诫s等手段來改進(jìn)氣敏材料的靈敏度、選擇性、工作溫度和穩(wěn)定性等性能指標(biāo),主要研究內(nèi)容如下:(1)提高氫氣傳感器在低溫下的靈敏度,采用一種簡單、高效的水熱方法制備了由一維納米棒組成的三維海膽狀的W18O49多層次結(jié)構(gòu)。該種結(jié)構(gòu)具有非常大的比表面積,這就促進(jìn)了氣體的吸附,同時提高氣體的擴(kuò)散速率,使得器件的靈敏度大幅提升。然后我們通過簡單的攪拌方法在其表面修飾上貴金屬Pd納米顆粒,利用Pd對氫氣的催化作用進(jìn)一步優(yōu)化W18049對氫氣的氣敏性能。(2)利用水熱合成的方法制備...
【文章來源】:廈門大學(xué)福建省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁數(shù)】:66 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【部分圖文】:
圖2-1?(a)氣敏元件的示意圖,(b)氣敏元件的實物圖??
到特定體積的氣瓶內(nèi)配置成一定濃度的氣體備用;通過調(diào)控加熱電壓將器件加熱??到一定溫度,降插有傳感器的測試棒迅速放入到氣瓶中,傳感器的實時響應(yīng)將以??電阻或電導(dǎo)的變化曲線展示在測試軟件中,測試儀器如圖2-2所示。??圖2-2高精度氣體傳感器的測試裝置圖??圖2-3是傳感器的測試原理示意圖,V。為測試電壓,即回路的總電壓,Rs??為傳感器等效電阻,Rt為加熱電阻,在電路中通過調(diào)節(jié)加熱電壓Vh設(shè)定氣敏元??件對應(yīng)工作溫度,V。為信號電壓,通過信號電壓的變化反應(yīng)氣敏元件的氣敏性??能。通過以上這些數(shù)據(jù),我們可以計算出傳感器的電阻,計算公式如下:??Rs?=?VcRl/V0?-?rl??18??
保福希幔蠱?宕?釁韉鬧票訃捌潿裕齲財?宓募觳猓崳?火,如圖3-1的XRD結(jié)果表明,在400°C的退火溫度下W18049將轉(zhuǎn)變?yōu)椋祝埃场??因此,在本次實驗中選擇300°C和400°C退火溫度分別得到Pd-W18049和Pd-W03。??L?450?V??一?J?LaA^A?^?-??^?nl?400?-c??^?J???????t?350?^??JW?丄rirn—?300?r??jW.?2501:;??20?40?60?80??20?(degree)??圖3-1?WI8049經(jīng)過不同的溫度退火后的XRD圖譜??3.3頭驗結(jié)果和分析??3.3.1材料表征??圖3-2展示的W18049樣品的X射線衍射(XRD)花樣,圖中曲線的衍??射峰對應(yīng)的數(shù)值代表該衍射峰對應(yīng)的晶面,與標(biāo)準(zhǔn)的JCPDS卡片對照可知,??所有衍射峰都可以對應(yīng)于單斜相的W18049?(JCPDS標(biāo)準(zhǔn)卡片號為712450),??沒有其他的雜質(zhì)峰,這表明我們合成的W18049納米材料純度很高。于此同時,??材料的拉曼光譜(圖3-3)中的所有峰也和典型的W18049拉曼光譜契合的非常好。??在低波長區(qū)域的263和326?crrT1峰歸功于0-W-0鍵彎模;高波長區(qū)域的706和??22??
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]氣體傳感器的分類和應(yīng)用[J]. 王勝權(quán),張勁,劉小旭. 科技致富向?qū)? 2011(20)
[2]高能球磨法在納米材料研究中的應(yīng)用[J]. 韓兵強(qiáng),李楠. 耐火材料. 2002(04)
[3]TiO2薄膜氧敏元件的研究與發(fā)展[J]. 田立強(qiáng),潘國峰,趙彥曉,王靜,孫以材. 傳感器世界. 2002(07)
[4]納米氣敏粉體的制備技術(shù)[J]. 徐甲強(qiáng),李金鳳,陳玉萍,田志壯. 鄭州輕工業(yè)學(xué)院學(xué)報. 1999(02)
[5]溶膠凝膠法制備的ZnO氣敏薄膜[J]. 潘素瑛,梅森. 傳感器技術(shù). 1993(03)
[6]用溶膠-凝膠法制備的納米 TiO2粉末的結(jié)構(gòu)[J]. 羅菊,丁星兆,程黎放,馬學(xué)鳴,董遠(yuǎn)達(dá). 材料科學(xué)進(jìn)展. 1993(01)
[7]溶膠-凝膠科學(xué)技術(shù)的現(xiàn)狀和發(fā)展前景[J]. 李彬. 儀表材料. 1990(05)
本文編號:3481246
【文章來源】:廈門大學(xué)福建省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁數(shù)】:66 頁
【學(xué)位級別】:碩士
【部分圖文】:
圖2-1?(a)氣敏元件的示意圖,(b)氣敏元件的實物圖??
到特定體積的氣瓶內(nèi)配置成一定濃度的氣體備用;通過調(diào)控加熱電壓將器件加熱??到一定溫度,降插有傳感器的測試棒迅速放入到氣瓶中,傳感器的實時響應(yīng)將以??電阻或電導(dǎo)的變化曲線展示在測試軟件中,測試儀器如圖2-2所示。??圖2-2高精度氣體傳感器的測試裝置圖??圖2-3是傳感器的測試原理示意圖,V。為測試電壓,即回路的總電壓,Rs??為傳感器等效電阻,Rt為加熱電阻,在電路中通過調(diào)節(jié)加熱電壓Vh設(shè)定氣敏元??件對應(yīng)工作溫度,V。為信號電壓,通過信號電壓的變化反應(yīng)氣敏元件的氣敏性??能。通過以上這些數(shù)據(jù),我們可以計算出傳感器的電阻,計算公式如下:??Rs?=?VcRl/V0?-?rl??18??
保福希幔蠱?宕?釁韉鬧票訃捌潿裕齲財?宓募觳猓崳?火,如圖3-1的XRD結(jié)果表明,在400°C的退火溫度下W18049將轉(zhuǎn)變?yōu)椋祝埃场??因此,在本次實驗中選擇300°C和400°C退火溫度分別得到Pd-W18049和Pd-W03。??L?450?V??一?J?LaA^A?^?-??^?nl?400?-c??^?J???????t?350?^??JW?丄rirn—?300?r??jW.?2501:;??20?40?60?80??20?(degree)??圖3-1?WI8049經(jīng)過不同的溫度退火后的XRD圖譜??3.3頭驗結(jié)果和分析??3.3.1材料表征??圖3-2展示的W18049樣品的X射線衍射(XRD)花樣,圖中曲線的衍??射峰對應(yīng)的數(shù)值代表該衍射峰對應(yīng)的晶面,與標(biāo)準(zhǔn)的JCPDS卡片對照可知,??所有衍射峰都可以對應(yīng)于單斜相的W18049?(JCPDS標(biāo)準(zhǔn)卡片號為712450),??沒有其他的雜質(zhì)峰,這表明我們合成的W18049納米材料純度很高。于此同時,??材料的拉曼光譜(圖3-3)中的所有峰也和典型的W18049拉曼光譜契合的非常好。??在低波長區(qū)域的263和326?crrT1峰歸功于0-W-0鍵彎模;高波長區(qū)域的706和??22??
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]氣體傳感器的分類和應(yīng)用[J]. 王勝權(quán),張勁,劉小旭. 科技致富向?qū)? 2011(20)
[2]高能球磨法在納米材料研究中的應(yīng)用[J]. 韓兵強(qiáng),李楠. 耐火材料. 2002(04)
[3]TiO2薄膜氧敏元件的研究與發(fā)展[J]. 田立強(qiáng),潘國峰,趙彥曉,王靜,孫以材. 傳感器世界. 2002(07)
[4]納米氣敏粉體的制備技術(shù)[J]. 徐甲強(qiáng),李金鳳,陳玉萍,田志壯. 鄭州輕工業(yè)學(xué)院學(xué)報. 1999(02)
[5]溶膠凝膠法制備的ZnO氣敏薄膜[J]. 潘素瑛,梅森. 傳感器技術(shù). 1993(03)
[6]用溶膠-凝膠法制備的納米 TiO2粉末的結(jié)構(gòu)[J]. 羅菊,丁星兆,程黎放,馬學(xué)鳴,董遠(yuǎn)達(dá). 材料科學(xué)進(jìn)展. 1993(01)
[7]溶膠-凝膠科學(xué)技術(shù)的現(xiàn)狀和發(fā)展前景[J]. 李彬. 儀表材料. 1990(05)
本文編號:3481246
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