采用反應(yīng)磁控濺射的方法,利用Zr靶與TiSi復(fù)合靶成功制備了不同TiSiN層厚度的ZrN/TiSiN納米多層膜。利用X射線衍射（XRD）、高分辨透射電子顯微鏡（HRTEM）、掃描電子顯微鏡（SEM）和納米壓痕儀研究了不同TiSiN層厚度對(duì)ZrN/TiSiN納米多層膜的微觀結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能的影響。結(jié)果表明,ZrN/TiSiN納米多層膜主要由面心立方的ZrN相組成,隨著TiSiN層厚度的增加,納米多層膜的結(jié)晶程度先增加后降低,其硬度和彈性模量也先升高后降低。當(dāng)TiSiN層厚度為0.7nm時(shí),納米多層膜具有最高的硬度和彈性模量,分別為28.7和301.1GPa,遠(yuǎn)超過(guò)ZrN單層膜。ZrN/TiSiN納米多層膜的強(qiáng)化效果可由交變應(yīng)力場(chǎng)和模量差理論進(jìn)行解釋。 

【文章來(lái)源】：功能材料. 2016,47(01)北大核心CSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：5 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引言
2 實(shí)驗(yàn)材料與方法
    2.1 薄膜的制備
    2.2 薄膜的表征與測(cè)試
3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論
    3.1 TiSiN層厚度對(duì)ZrN/TiSiN納米多層膜微觀組織的影響
    3.2 TiSiN層厚度對(duì)ZrN/TiSiN納米多層膜力學(xué)性能的影響
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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