紅外氣體檢測(cè)系統(tǒng)因其測(cè)試精度高、速度快等優(yōu)點(diǎn)被應(yīng)用于礦井下檢測(cè)可燃?xì)怏w,礦井下粉塵和水蒸氣嚴(yán)重干擾了氣體檢測(cè)靈敏度和精度,透明導(dǎo)電薄膜由于其獨(dú)特的光電性能可以去除光學(xué)元器件上的粉塵和水蒸氣。然而目前透明導(dǎo)電薄膜只在可見光波段透明,無法適用于紅外氣體檢測(cè)常用的3⁵μm大氣窗口波段。因此,研究適用于3⁵μm波段的透明導(dǎo)電薄膜對(duì)提高檢測(cè)系統(tǒng)抗干擾能力具有重要意義。本論文使用離子束輔助熱蒸鍍和射頻磁控濺射法,在石英、藍(lán)寶石、硒化鋅襯底上制備了三種紅外透明導(dǎo)電薄膜,分別為In₂O₃薄膜、氧化銦摻鉿（IHfO）薄膜、氧化鋅摻鉿（HZO）薄膜。研究了實(shí)驗(yàn)參數(shù)對(duì)薄膜晶體結(jié)構(gòu)和光電性能的影響。首先,使用離子束輔助熱蒸鍍法制備制備了In₂O₃薄膜,分別研究了氧氣流速和退火溫度對(duì)In₂O₃薄膜晶體結(jié)構(gòu)和光電性能的影響。結(jié)果表明In₂O₃薄膜具有（222）方向的擇優(yōu)取向,增加氧氣流速有利于薄膜... 

【文章來源】：吉林大學(xué)吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：70 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

金屬網(wǎng)柵薄膜結(jié)構(gòu)

AMO_2類P型透明導(dǎo)電氧化物薄膜結(jié)構(gòu)[17]

強(qiáng)關(guān)聯(lián)體薄膜結(jié)構(gòu)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
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[2]紅外透明導(dǎo)電薄膜的制備及其光電性質(zhì)研究[D]. 王鑫.吉林大學(xué) 2018
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本文編號(hào)：3394727