納米、微米尺度的表面結(jié)構(gòu)優(yōu)化可以有效改善材料表面性能。微納結(jié)構(gòu)功能表面研究是表面工程領(lǐng)域的熱點(diǎn)方向。其中,固體材料表面光學(xué)和潤濕特性的改進(jìn)一直是表面工程領(lǐng)域的重要研究問題,其在航空、航天、生物、醫(yī)學(xué)及能源材料等相關(guān)領(lǐng)域展現(xiàn)出了實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。目前,大面積微納結(jié)構(gòu)功能表面的可控制備仍是其推廣應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸。本文以多光束激光干涉光刻（LIL）技術(shù)為基礎(chǔ),針對反射和潤濕功能表面的可控制備開展研究。本文主要完成的工作和取得的成果如下:首先,基于多光束干涉光場分布的理論,分析了三光束干涉情況下,空間角和偏振態(tài)矢量的不同組合關(guān)系對形成光場的影響,提出了空間角分布為（0°,90°,180°）對非對稱三光束干涉光路設(shè)計(jì),對應(yīng)相干光束的偏振態(tài)組合為TE-TM-TE,并組建了非對稱三光束激光干涉光刻系統(tǒng)。這種系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案具有光路簡化的優(yōu)點(diǎn),同時(shí)提高了對光場形成圖案的控制能力,更容易實(shí)現(xiàn)高占空比結(jié)構(gòu)的制備。其次,基于該系統(tǒng),獲得了干涉光刻曝光過程中工藝參數(shù)對結(jié)構(gòu)形貌參數(shù)的影響規(guī)律,通過曝光劑量控制實(shí)現(xiàn)了對結(jié)構(gòu)形狀、高度和占空比的調(diào)控,進(jìn)而達(dá)到周期性微納掩模的大面積可控制備的目的。在此基礎(chǔ)上,利用感應(yīng)耦合等... 

【文章來源】：長春理工大學(xué)吉林省

【文章頁數(shù)】：128 頁

【學(xué)位級別】：博士

【部分圖文】：

激光干涉技術(shù)分光分類示意圖

激光干涉系統(tǒng)示意圖[16-23]

多光束干涉光場的光學(xué)圖像，相位掩模按照多面對稱金字塔透鏡計(jì)算得到，圖像通過CCD采集[20]

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]淺析“光的干涉”中的光源性質(zhì)及作用[J]. 顧錚■,卜勝利,童元偉.  大學(xué)物理. 2013(04)
[2]制作平面全息光柵的離軸拋物鏡/洛埃鏡干涉系統(tǒng)[J]. 巴音賀希格,邵先秀,崔繼承,李文昊,齊向東.  光學(xué)精密工程. 2011(01)
[3]振幅分割無掩模激光干涉光刻的實(shí)現(xiàn)方法[J]. 張錦,馮伯儒,郭永康.  光電工程. 2004(02)
[4]《光學(xué)》自學(xué)輔導(dǎo)材料（三）——干涉裝置[J]. 周岳明.  大學(xué)物理. 1986(06)



本文編號：3350494