基于國(guó)內(nèi)外研究成果,對(duì)薄膜壓電系數(shù)測(cè)試方法進(jìn)行了分類(lèi)介紹,如基于正壓電效應(yīng)的垂直壓力加載法、氣動(dòng)加載法、懸臂梁法和基于逆壓電效應(yīng)的激光干涉法、顯微鏡法,X射線衍射法,還有采用間接測(cè)量的體聲波和表面聲波法、復(fù)合諧振法等�；趬弘娤禂�(shù)測(cè)試研究現(xiàn)狀,匯報(bào)了測(cè)試方法的最新研究進(jìn)展。隨著高通量實(shí)驗(yàn)的快速發(fā)展,高通量測(cè)試方法已經(jīng)逐漸成為材料測(cè)試的發(fā)展方向。對(duì)于壓電薄膜壓電系數(shù)的高通量測(cè)量,懸臂梁法以及X射線衍射法有望實(shí)現(xiàn)多個(gè)試樣并行測(cè)試,顯著提高實(shí)驗(yàn)效率,可以為材料模擬計(jì)算提供數(shù)據(jù)支持,同時(shí)對(duì)模擬計(jì)算的結(jié)果提供實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。 

【文章來(lái)源】：傳感器與微系統(tǒng). 2020,39(10)CSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【文章目錄】：
0 引言
1 測(cè)試原理
2 薄膜壓電材料壓電系數(shù)測(cè)試方法
    2.1 直接測(cè)試方法
        2.1.1 垂直壓力加載
        2.1.2 氣動(dòng)壓力加載
        2.1.3 懸臂梁法
        2.1.4 激光干涉法
        2.1.5 顯微鏡法
        2.1.6 X射線衍射法
    2.2 間接測(cè)試方法
        2.2.1 體聲波和表面聲波法
        2.2.2 復(fù)合諧振法
3 結(jié)束語(yǔ)


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]動(dòng)態(tài)諧振法測(cè)量縱向壓電應(yīng)變常數(shù)的不確定度評(píng)定[J]. 張瑞紋,何龍標(biāo),祝海江,楊平.  計(jì)量學(xué)報(bào). 2015 (04)
[2]薄膜壓電系數(shù)測(cè)量方法的研究進(jìn)展[J]. 董佳麗,相文峰,趙昆,岳義,賀卓,趙嵩卿.  微納電子技術(shù). 2014(01)
[3]薄/厚膜壓電參數(shù)測(cè)量方法的研究進(jìn)展[J]. 王青萍,姜?jiǎng)倭?熊龍宇,曾亦可.  材料導(dǎo)報(bào). 2009(21)

碩士論文
[1]壓電陶瓷的縱向應(yīng)變常數(shù)測(cè)量研究[D]. 張瑞紋.北京化工大學(xué) 2014



本文編號(hào)：3288668