氮化鋁（AlN）是禁帶寬度為6.2eV的直接帶隙半導(dǎo)體,在綠光、藍(lán)光和紫外光高頻段的光電探測(cè)、電子和光電子器件等領(lǐng)域有著極大的應(yīng)用潛力。一維納米材料具有獨(dú)特的電學(xué)、熱學(xué)和力學(xué)性能,因此在光電子,電化學(xué)和電機(jī)械器件等領(lǐng)域中有廣泛的應(yīng)用前景。近年來,在AlN納米線及其陣列制備的方法,在場(chǎng)發(fā)射、發(fā)光二極管（LED）、激光器二極管和紫外光電探測(cè)器等方面應(yīng)用備受關(guān)注。AlN納米線陣列與一維AlN納米結(jié)構(gòu)相比,特異性能更加明顯,使其在復(fù)合材料和納米器件中獲得廣泛應(yīng)用。雖然現(xiàn)有幾種Al N納米線陣列的制備方法,但可控制備的、合成宏觀的、性能良好的,制備方法簡(jiǎn)單和價(jià)格低廉的AlN納米線陣列的制備方法挑戰(zhàn)依然存在。因此,高質(zhì)量Al N納米線陣列的制備方法仍是研究的焦點(diǎn)。本文采用二次模板法成功制備取向規(guī)則、直徑均勻可控的AlN納米線宏觀陣列。即借助PS球自組裝特性在單晶Si（001）面上形成均勻分布的PS球模板;利用真空鍍膜法在上述模板蒸鍍一層金屬Al納米顆粒,經(jīng)熱處理后形成分布均勻Al納米顆粒模板;再以模板上的金屬Al納米顆粒作為催化劑,利用化學(xué)氣相沉積合成Al N納米線宏觀陣列,其面積約為0.3×0.... 

【文章來源】：沈陽工業(yè)大學(xué)遼寧省

【文章頁數(shù)】：53 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

XpertPRO型X射線衍射儀Fig.2.1XpertPROXraydiffraction

圖 2.2 紫外可見光分光光度計(jì) Lambda 900Fig. 2.2 UV visible spectrophotometer Lambda 900網(wǎng)絡(luò)分析儀絡(luò)分析儀器是一種電磁波能量的測(cè)試設(shè)備，本研究中的樣品的吸波Technologies 公司生產(chǎn)的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀表征完成的。在本實(shí)驗(yàn)中測(cè)的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀（VNAAgilent E5071C）是在 transmission/reflecti。首先獲取樣品在各個(gè)頻率點(diǎn)反射參數(shù) S11，透射參數(shù) S21。然后對(duì)來得到材料的復(fù)介電常數(shù)和復(fù)磁導(dǎo)率。本文研究 1-18GHz 的波段范用配套的 85071C 電磁性能測(cè)試的軟件處理電磁參數(shù)數(shù)據(jù)。測(cè)試樣品測(cè)試設(shè)備的要求，采用模壓法制作試樣，將石蠟加熱到 60℃使融化均勻攪拌，充分?jǐn)嚢韬髮⒒旌衔锓湃雸A柱形同軸模具中并壓制成厚度米和 3.04 毫米內(nèi)徑的圓環(huán)形樣本，利用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀對(duì)圓環(huán)形測(cè)波性能分析。

聚苯乙烯是一種無色透明的熱塑性塑料的聚合物，通式是[(CH2CHC6H5)n]。具玻璃轉(zhuǎn)化溫度高于 100℃，240℃時(shí)發(fā)生熔融。聚苯乙烯是非晶聚合物，絕熱、絕緣良好。本此研究主要通過沉積方式，將調(diào)好濃度的 PS 球溶液經(jīng)過沉積的反復(fù)均勻的排布經(jīng)過處理并且具有親水性硅基片的（001）面上。在沒有實(shí)驗(yàn)干預(yù)的條件下，PS 球硅基片表面上是隨機(jī)排布的，可通過控制實(shí)驗(yàn)條件，這些 PS 球通過自組裝過程在基上形成均勻排布的陣列，為后續(xù) Al 金屬納米顆粒模板的制備提供條件。本次實(shí)驗(yàn)采的 PS 球，直徑 500nm，通過自主裝過程形成單層球陣列。具體實(shí)驗(yàn)步驟如下：（1）將濃 H2SO4（98%）與雙氧水（30%）按體積比 1:3 配置成混合溶液，把好的條形 Si 基片放入配置好的混合的溶液中浸泡 1 小時(shí)，如圖 3.1（a），然后取出 基片并用無水乙醇洗滌，再將 Si 基片浸入異丙醇溶液，并用 BT-50 超聲波分散器，如圖 3.1，所示取出后風(fēng)干。

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
[1]AlN納米結(jié)構(gòu)的制備與表征[D]. 劉康.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2014



本文編號(hào)：3283034