采用垂直無籽晶氣相升華法生長出直徑37 mm的優(yōu)質(zhì)硒化鎘（CdSe）單晶體,并沿光軸方向切割出20 mm×20 mm×3 mm的CdSe波片初胚。經(jīng)研磨和拋光,在2～20μm波段CdSe波片的紅外透過率約為70%。為進一步提高波片的透過率,采用Essential-Macleod軟件輔助設(shè)計方案,選用YF₃和ZnS為雙層增透膜材料,并獲得最佳的膜系厚度。鍍膜后的CdSe波片在6～12μm波段透過率達到90%,在10.5μm處的透過率最高,峰值高達99%。 

【文章來源】：人工晶體學(xué)報. 2020,49(04)北大核心

【文章頁數(shù)】：5 頁

【部分圖文】：

(a)無籽晶氣相升華法生長的CdSe單晶;(b)CdSe單晶XRD圖譜

對晶體進行定向切割,制成20 mm×20 mm×3 mm的CdSe波片初胚,如圖2(a)所示;波片的示意圖,如圖2(b)所示。在pH=5的酸性條件下對CdSe波片進行化學(xué)機械拋光處理[17]。使用本原CSPM型原子力顯微鏡對波片進行掃描測試如圖3(a)所示。波片表面平均粗糙度Ra=0.73 nm,粗糙程度較低。采用IR Prestige-21傅里葉紅外光譜儀對拋光后的CdSe波片進行紅外透過率測試,如圖3(b),在2～20 μm波段內(nèi)CdSe波片的平均透過率接近70%。圖3 (a)CdSe波片的AFM照片;(b)CdSe波片紅外透過率曲線

(a)CdSe波片的AFM照片;(b)CdSe波片紅外透過率曲線

【參考文獻】：
期刊論文
[1]酸性條件下的CdSe波片拋光工藝研究[J]. 魏順勇,張志勇,楊輝,安辛友,張敏,曾體賢.  人工晶體學(xué)報. 2018(06)
[2]紅外偏振成像技術(shù)研究[J]. 劉重陽,趙萬利.  光電技術(shù)應(yīng)用. 2014(05)
[3]紅外偏振成像探測技術(shù)及應(yīng)用研究[J]. 姜會林,付強,段錦,張立中,李英超,張肅.  紅外技術(shù). 2014(05)
[4]中國地基大太陽望遠(yuǎn)鏡[J]. 劉忠,鄧元勇,季海生,黎輝.  中國科學(xué):物理學(xué) 力學(xué) 天文學(xué). 2012(12)
[5]紅外非線性光學(xué)晶體CdSe生長與性能表征[J]. 曾體賢,趙北君,朱世富,何知宇,盧大洲,陳寶軍,唐世紅.  人工晶體學(xué)報. 2009(02)
[6]硒化鎘晶體定向切割方法研究[J]. 盧大洲,朱世富,趙北君,曾體賢,何知宇.  人工晶體學(xué)報. 2008(05)
[7]6.415μm寬帶增透膜的設(shè)計與制作[J]. 李大琪,劉定權(quán),張鳳山.  紅外與毫米波學(xué)報. 2006(02)
[8]硒化鋅基底8～12μm高性能增透膜的研究[J]. 潘永強,朱昌.  紅外與激光工程. 2005(04)
[9]硫化鋅透鏡中長波紅外寬帶增透膜的研制[J]. 于天燕,朱福榮,劉定權(quán),張鳳山.  光學(xué)學(xué)報. 2005(02)
[10]計算膜系特征矩陣的一種新方法[J].   機床與液壓. 1977(06)

碩士論文
[1]紅外增透膜的研究[D]. 孫可祥.西安工業(yè)大學(xué) 2013



本文編號：3279072