原子層沉積技術(shù)制備氧化物基薄膜的腐蝕性能研究
發(fā)布時(shí)間：2021-06-24 02:08
本文采用原子層沉積系統(tǒng)在單晶Si（100）片上沉積了TiO2薄膜與Ti-富馬酸雜化薄膜,并對這兩種薄膜進(jìn)行退火處理,從而獲得不同退火溫度的TiO2薄膜與C-TiO2薄膜;利用原子層沉積系統(tǒng)在316L不銹鋼和單晶Si（100）片上沉積了TiO2薄膜與Al2O3薄膜;將原子層沉積技術(shù)與磁控濺射系統(tǒng)相結(jié)合在316L不銹鋼和單晶硅片上沉積了一系列TiN/Al2O3/TiN疊層復(fù)合薄膜。利用掃描電子顯微鏡、X射線衍射儀和X射線光電子能譜對薄膜的表面及截面形貌、物相結(jié)構(gòu)、和組成成分測試分析;采用劃痕儀、納米壓痕儀和三維形貌儀分析薄膜的膜基結(jié)合力、硬度及彈性模量、表面粗糙度等。研究薄膜在3.5 wt.%NaCl溶液中的耐腐蝕性能,再利用金相顯微鏡觀察腐蝕后薄膜表面形貌的變化,并探討相關(guān)的腐蝕機(jī)理;通過自制的球-盤式摩擦試驗(yàn)機(jī)研究復(fù)合薄膜在3.5 wt.%NaCl溶液中的抗摩擦特性,并利用金相顯微鏡和三維形貌儀觀察和分析薄膜及對...
【文章來源】：南京航空航天大學(xué)江蘇省 211工程院校
【文章頁數(shù)】：98 頁
【學(xué)位級別】：碩士
【部分圖文】：
腐蝕損失與防護(hù)之間的關(guān)系
圖 1. 2 腐蝕損失與防護(hù)之間的關(guān)系的發(fā)展現(xiàn)狀國對防腐蝕研究越來越重視，傳統(tǒng)的防腐技術(shù)開始逐步走向成用到實(shí)際中。而深刻地理解防腐的基本原理，才能更好地應(yīng)用和手，才能有效地防治腐蝕的發(fā)生。由 Fe/H2O 體系的電位 E-pH方法可預(yù)防 Fe 發(fā)生腐蝕：1) 提高 pH 值；2) 升高電位至鈍化劑；3) 降低電位至免蝕區(qū)-陰極保護(hù)。
Mg-Zn-Mn 合金的極化曲線[22]：a) 橫截面試樣，b) 縱截層屬表面涂層技術(shù)是應(yīng)用最廣泛的防腐技術(shù)，主要是在金蝕介質(zhì)與金屬基材的接觸。其制備方法比較成熟，涂層境中，可與其他防腐技術(shù)配合使用，但涂層在長期腐蝕外力較強(qiáng)的場合。一般金屬表面的防腐涂層分為兩種，類涂層[25,26]、聚氨酯樹脂類涂層[27]、聚吡咯類涂層[28]等化物類涂層[29,30]、金屬氮化物類涂層[31,32]、金屬合金類涂色有機(jī)-無機(jī)混合環(huán)氧樹脂涂層，研究發(fā)現(xiàn)雜化顏料的添耐腐蝕性能，同時(shí)，該混合顏料部分溶于腐蝕性電解質(zhì)，性能。相繼研究了 TiN、CrN、TiCN、CrCN、CrSiCN 和 CrBC蝕性能，發(fā)現(xiàn) TiN 與 CrN 薄膜在模擬體液中會生成一種出良好的耐腐蝕性能；在 TiN 與 CrN 薄膜中添加適量
【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]鐵基犧牲陽極對17-4PH不銹鋼的陰極保護(hù)[J]. 胡毓,杜見第,李婷,丁冬雁. 腐蝕科學(xué)與防護(hù)技術(shù). 2016(05)
[2]石油化工設(shè)備腐蝕的防護(hù)與檢測[J]. 于立新. 石化技術(shù). 2016(06)
[3]原子層沉積低溫制備高取向銳鈦礦TiO2薄膜[J]. 佘秋明,曹良良,陳燕,宋新山,王宇暉,宋志棠,吳良才. 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2016(05)
[4]等離子噴涂制備Al2O3,ZrO2,Al2O3/ZrO2和ZrO2/Al2O3涂層的腐蝕性能（英文）[J]. S.SATHISH,M.GEETHA. Transactions of Nonferrous Metals Society of China. 2016(05)
[5]304不銹鋼表面TiN涂層的耐蝕性能[J]. 李軒鵬,郭亞鑫,華帥,范愛蘭,劉小萍,唐賓. 表面技術(shù). 2016(04)
[6]船體材料腐蝕與防護(hù)措施的研究進(jìn)展[J]. 李婷,張耀武,呂巖,馬坡. 廣州化工. 2015(06)
[7]深海環(huán)境中的材料腐蝕與防護(hù)研究進(jìn)展[J]. 曹攀,周婷婷,白秀琴,袁成清. 中國腐蝕與防護(hù)學(xué)報(bào). 2015(01)
[8]316L不銹鋼表面溶膠-凝膠法制備TiO2薄膜[J]. 王軍,劉瑩,劉小龍. 中國表面工程. 2014(03)
[9]金屬材料防腐技術(shù)的研究進(jìn)展[J]. 何毅,徐中浩,陳航宇,唐艷麗,陳丹. 應(yīng)用化工. 2013(11)
[10]電弧離子鍍方法制備的Ti/TiN多層膜的結(jié)構(gòu)與耐腐蝕性能[J]. 宋貴宏,婁茁,李鋒,陳立佳. 中國有色金屬學(xué)報(bào). 2012(02)
碩士論文
[1]Ag負(fù)載對N摻雜TiO2薄膜的光電及光催化性能的影響[D]. 張偉華.太原理工大學(xué) 2016
本文編號：3246140
【文章來源】：南京航空航天大學(xué)江蘇省 211工程院校
【文章頁數(shù)】：98 頁
【學(xué)位級別】：碩士
【部分圖文】：
腐蝕損失與防護(hù)之間的關(guān)系
圖 1. 2 腐蝕損失與防護(hù)之間的關(guān)系的發(fā)展現(xiàn)狀國對防腐蝕研究越來越重視，傳統(tǒng)的防腐技術(shù)開始逐步走向成用到實(shí)際中。而深刻地理解防腐的基本原理，才能更好地應(yīng)用和手，才能有效地防治腐蝕的發(fā)生。由 Fe/H2O 體系的電位 E-pH方法可預(yù)防 Fe 發(fā)生腐蝕：1) 提高 pH 值；2) 升高電位至鈍化劑；3) 降低電位至免蝕區(qū)-陰極保護(hù)。
Mg-Zn-Mn 合金的極化曲線[22]：a) 橫截面試樣，b) 縱截層屬表面涂層技術(shù)是應(yīng)用最廣泛的防腐技術(shù)，主要是在金蝕介質(zhì)與金屬基材的接觸。其制備方法比較成熟，涂層境中，可與其他防腐技術(shù)配合使用，但涂層在長期腐蝕外力較強(qiáng)的場合。一般金屬表面的防腐涂層分為兩種，類涂層[25,26]、聚氨酯樹脂類涂層[27]、聚吡咯類涂層[28]等化物類涂層[29,30]、金屬氮化物類涂層[31,32]、金屬合金類涂色有機(jī)-無機(jī)混合環(huán)氧樹脂涂層，研究發(fā)現(xiàn)雜化顏料的添耐腐蝕性能，同時(shí)，該混合顏料部分溶于腐蝕性電解質(zhì)，性能。相繼研究了 TiN、CrN、TiCN、CrCN、CrSiCN 和 CrBC蝕性能，發(fā)現(xiàn) TiN 與 CrN 薄膜在模擬體液中會生成一種出良好的耐腐蝕性能；在 TiN 與 CrN 薄膜中添加適量
【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]鐵基犧牲陽極對17-4PH不銹鋼的陰極保護(hù)[J]. 胡毓,杜見第,李婷,丁冬雁. 腐蝕科學(xué)與防護(hù)技術(shù). 2016(05)
[2]石油化工設(shè)備腐蝕的防護(hù)與檢測[J]. 于立新. 石化技術(shù). 2016(06)
[3]原子層沉積低溫制備高取向銳鈦礦TiO2薄膜[J]. 佘秋明,曹良良,陳燕,宋新山,王宇暉,宋志棠,吳良才. 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2016(05)
[4]等離子噴涂制備Al2O3,ZrO2,Al2O3/ZrO2和ZrO2/Al2O3涂層的腐蝕性能（英文）[J]. S.SATHISH,M.GEETHA. Transactions of Nonferrous Metals Society of China. 2016(05)
[5]304不銹鋼表面TiN涂層的耐蝕性能[J]. 李軒鵬,郭亞鑫,華帥,范愛蘭,劉小萍,唐賓. 表面技術(shù). 2016(04)
[6]船體材料腐蝕與防護(hù)措施的研究進(jìn)展[J]. 李婷,張耀武,呂巖,馬坡. 廣州化工. 2015(06)
[7]深海環(huán)境中的材料腐蝕與防護(hù)研究進(jìn)展[J]. 曹攀,周婷婷,白秀琴,袁成清. 中國腐蝕與防護(hù)學(xué)報(bào). 2015(01)
[8]316L不銹鋼表面溶膠-凝膠法制備TiO2薄膜[J]. 王軍,劉瑩,劉小龍. 中國表面工程. 2014(03)
[9]金屬材料防腐技術(shù)的研究進(jìn)展[J]. 何毅,徐中浩,陳航宇,唐艷麗,陳丹. 應(yīng)用化工. 2013(11)
[10]電弧離子鍍方法制備的Ti/TiN多層膜的結(jié)構(gòu)與耐腐蝕性能[J]. 宋貴宏,婁茁,李鋒,陳立佳. 中國有色金屬學(xué)報(bào). 2012(02)
碩士論文
[1]Ag負(fù)載對N摻雜TiO2薄膜的光電及光催化性能的影響[D]. 張偉華.太原理工大學(xué) 2016
本文編號：3246140
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