發(fā)布時(shí)間：2021-06-02 19:19

　　針對(duì)現(xiàn)有材料表面鍍膜裝置缺乏表面質(zhì)量監(jiān)控和反饋系統(tǒng),研制出一套基于激光微懸臂梁的納米薄膜生長(zhǎng)厚度檢測(cè)系統(tǒng)。該平臺(tái)由微懸臂梁、激光發(fā)射單元、壓電陶瓷單元、光電探測(cè)器單元、伺服電機(jī)和人機(jī)界面組成。將檢測(cè)結(jié)果反饋給鍍膜系統(tǒng),及時(shí)調(diào)整鍍膜工藝參數(shù),實(shí)現(xiàn)快速表征、精準(zhǔn)鍍膜。實(shí)驗(yàn)表明:該納米薄膜生長(zhǎng)厚度檢測(cè)平臺(tái)能夠在鍍膜過(guò)程中實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜厚度,精度可達(dá)±3 nm。 

【文章來(lái)源】：電子顯微學(xué)報(bào). 2020,39(02)北大核心CSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：6 頁(yè)

【部分圖文】：

磁控濺射原位檢測(cè)平臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖。

激光微懸臂梁檢測(cè)原理。

平臺(tái)設(shè)計(jì)框圖。

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于LabVIEW和單片機(jī)的自動(dòng)控制系統(tǒng)綜合實(shí)驗(yàn)[J]. 高宏巖,王譽(yù)錢(qián).  實(shí)驗(yàn)技術(shù)與管理. 2019(01)
[2]適用于AFM的數(shù)字智能反饋控制器設(shè)計(jì)[J]. 王艷艷,吳森.  電子顯微學(xué)報(bào). 2017(02)
[3]AFM反饋系統(tǒng)仿真模型的建立及實(shí)驗(yàn)[J]. 王艷艷.  電子顯微學(xué)報(bào). 2016(03)
[4]納米薄膜及相應(yīng)三維結(jié)構(gòu)的構(gòu)建、特性及應(yīng)用[J]. 黃高山,梅永豐.  中國(guó)科學(xué):技術(shù)科學(xué). 2016(02)
[5]AFM微懸臂梁探針彈性常數(shù)各種標(biāo)定方法的比較與分析[J]. 宋云鵬,吳森,傅星,徐臨燕.  傳感技術(shù)學(xué)報(bào). 2015(08)
[6]用四象限光電探測(cè)器獲得光斑參數(shù)[J]. 林志琦,李會(huì)杰,郎永輝,尹福昌.  光學(xué)精密工程. 2009(04)
[7]原子力顯微鏡的基本原理及其方法學(xué)研究[J]. 朱杰,孫潤(rùn)廣.  生命科學(xué)儀器. 2005(01)

碩士論文
[1]橢偏儀校準(zhǔn)方法研究[D]. 劉玉龍.中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 2014
[2]光電二極管放大電路設(shè)計(jì)[D]. 陳彥濤.陜西師范大學(xué) 2014



本文編號(hào)：3210602