晶體材料微加工技術(shù)是制備微電子器件、微機(jī)電系統(tǒng)器件的關(guān)鍵技術(shù)。飛秒激光輻照結(jié)合濕法腐蝕加工技術(shù)不僅可以去除飛秒激光誘導(dǎo)微結(jié)構(gòu)表面缺陷,提高微結(jié)構(gòu)表面光滑度,還在制備高縱橫比結(jié)構(gòu)、內(nèi)部通道等方面具有獨(dú)特的優(yōu)勢,為晶體加工開辟了新的道路。本文概述了飛秒激光輻照結(jié)合濕法腐蝕加工技術(shù)特點(diǎn)、原理和優(yōu)勢,總結(jié)了其在硅、碳化硅、藍(lán)寶石晶體材料微結(jié)構(gòu)制備中的研究進(jìn)展,討論了該技術(shù)的不足及其未來發(fā)展。 

【文章來源】：激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2020,57(11)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：16 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 基本原理
    2.1 濕法腐蝕基本原理
    2.2 飛秒激光輻照結(jié)合濕法腐蝕技術(shù)原理
    2.3 腐蝕條件的選擇
        2.3.1 硅的濕法腐蝕
        2.3.2 碳化硅的腐蝕液選擇
        2.3.3 藍(lán)寶石的腐蝕液選擇
3 飛秒激光輻照結(jié)合濕法腐蝕制備晶體材料微結(jié)構(gòu)
    3.1 硅的微結(jié)構(gòu)制備
    3.2 碳化硅的微結(jié)構(gòu)制備
    3.3 藍(lán)寶石的微結(jié)構(gòu)制備
4 結(jié)語


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
[1]藍(lán)寶石微光學(xué)元件的飛秒激光制備技術(shù)研究[D]. 李乾坤.吉林大學(xué) 2017

碩士論文
[1]堿腐蝕多晶硅表面微結(jié)構(gòu)研究[D]. 王坤霞.上海交通大學(xué) 2012



本文編號(hào)：3190937