NiC/Ti中子超鏡是一種高性能的中子多層膜光學元件,是提升中子導管、聚焦裝置等中子光學系統(tǒng)的中子利用率的關鍵之一。為了提升NiC/Ti中子超鏡的性能,本文面向具有不同厚度NiC膜層的NiC/Ti多層膜,分別采用X射線掠入射反射和X射線衍射的方法表征了NiC/Ti多層膜的膜層厚度、界面粗糙度和膜層晶向結(jié)構(gòu)。研究結(jié)果表明:隨著NiC膜層厚度的增長,除了在較小尺度（≤2.5nm）,NiC-on-Ti界面的粗糙度基本保持不變;而Ti-on-NiC界面的粗糙度卻呈現(xiàn)出較大的變化。具有不同厚度的NiC膜層的NiC/Ti多層膜的界面粗糙度呈現(xiàn)不對稱性的變化,主要原因在于NiC膜層的微結(jié)構(gòu)隨著膜層厚度的增長而產(chǎn)生了變化。 

【文章來源】：光學精密工程. 2017,25(11)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 實驗
3 測試與分析
    3.1 NiC/Ti多層膜掠入射X射線反射測試
    3.2 NiC/Ti多層膜X射線衍射測試
4 結(jié)論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]磁控濺射制備Ni/Ti多層膜表面粗糙度[J]. 潘磊,朱京濤,王曉強,蔣勵,李浩川,徐敬,張眾,王占山,陳玲燕.  強激光與粒子束. 2010(06)
[2]TiC在Ni-Al基體中熱力學穩(wěn)定性預測[J]. 陳志剛,原晨光,王利,張凝芳,潘頤.  材料科學與工程學報. 2003(06)
[3]X射線超反射鏡設計[J]. 張眾,王占山,王風麗,秦樹基,陳玲燕.  光學精密工程. 2003(01)

碩士論文
[1]Ni/Ti中子多層膜結(jié)構(gòu)與界面的控制[D]. 嚴彪杰.中國工程物理研究院 2014



本文編號：3184144