NiC/Ti中子超鏡是一種高性能的中子多層膜光學(xué)元件,是提升中子導(dǎo)管、聚焦裝置等中子光學(xué)系統(tǒng)的中子利用率的關(guān)鍵之一。為了提升NiC/Ti中子超鏡的性能,本文面向具有不同厚度NiC膜層的NiC/Ti多層膜,分別采用X射線掠入射反射和X射線衍射的方法表征了NiC/Ti多層膜的膜層厚度、界面粗糙度和膜層晶向結(jié)構(gòu)。研究結(jié)果表明:隨著NiC膜層厚度的增長(zhǎng),除了在較小尺度（≤2.5nm）,NiC-on-Ti界面的粗糙度基本保持不變;而Ti-on-NiC界面的粗糙度卻呈現(xiàn)出較大的變化。具有不同厚度的NiC膜層的NiC/Ti多層膜的界面粗糙度呈現(xiàn)不對(duì)稱(chēng)性的變化,主要原因在于NiC膜層的微結(jié)構(gòu)隨著膜層厚度的增長(zhǎng)而產(chǎn)生了變化。 

【文章來(lái)源】：光學(xué)精密工程. 2017,25(11)北大核心EICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：6 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引言
2 實(shí)驗(yàn)
3 測(cè)試與分析
    3.1 NiC/Ti多層膜掠入射X射線反射測(cè)試
    3.2 NiC/Ti多層膜X射線衍射測(cè)試
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]磁控濺射制備N(xiāo)i/Ti多層膜表面粗糙度[J]. 潘磊,朱京濤,王曉強(qiáng),蔣勵(lì),李浩川,徐敬,張眾,王占山,陳玲燕.  強(qiáng)激光與粒子束. 2010(06)
[2]TiC在Ni-Al基體中熱力學(xué)穩(wěn)定性預(yù)測(cè)[J]. 陳志剛,原晨光,王利,張凝芳,潘頤.  材料科學(xué)與工程學(xué)報(bào). 2003(06)
[3]X射線超反射鏡設(shè)計(jì)[J]. 張眾,王占山,王風(fēng)麗,秦樹(shù)基,陳玲燕.  光學(xué)精密工程. 2003(01)

碩士論文
[1]Ni/Ti中子多層膜結(jié)構(gòu)與界面的控制[D]. 嚴(yán)彪杰.中國(guó)工程物理研究院 2014



本文編號(hào)：3184144