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電子探針波譜儀和能譜儀在材料分析中的應用及對比

發(fā)布時間:2021-05-12 04:05
  作為微區(qū)分析的有效手段,電子探針(EPMA)在材料成分的定性、定量、線分析以及元素面分布的分析方面等有著廣泛的應用。特別是隨著技術(shù)的不斷進步,場發(fā)射型電子探針在同時獲得高分辨率的圖像和精確的成分分析方面有顯著的優(yōu)勢,為材料分析提供了更多的可能性。本文以島津EPMA-8050G型場發(fā)射型電子探針在材料分析中的典型應用為例,結(jié)合配備的能譜儀附件,對利用電子探針波譜儀和能譜儀進行材料的成分分析進行介紹和對比。另外,EPMA-8050G型電子探針配置的背散射電子探測器性能優(yōu)異,能夠初步觀察材料的晶粒取向信息,可以用來分析和判斷EBSD樣品的前期制樣效果,進一步擴展了電子探針在材料分析方面的應用。 

【文章來源】:電子顯微學報. 2020,39(02)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】:6 頁

【文章目錄】:
1 實驗
2 實驗結(jié)果與討論
    2.1 WDS和EDS的定性點分析能力對比
    2.2 WDS和EDS元素面分析能力對比
    2.3 晶粒取向初步分析
3 結(jié)論



本文編號:3182694

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