作為微區(qū)分析的有效手段,電子探針（EPMA）在材料成分的定性、定量、線分析以及元素面分布的分析方面等有著廣泛的應(yīng)用。特別是隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,場(chǎng)發(fā)射型電子探針在同時(shí)獲得高分辨率的圖像和精確的成分分析方面有顯著的優(yōu)勢(shì),為材料分析提供了更多的可能性。本文以島津EPMA-8050G型場(chǎng)發(fā)射型電子探針在材料分析中的典型應(yīng)用為例,結(jié)合配備的能譜儀附件,對(duì)利用電子探針波譜儀和能譜儀進(jìn)行材料的成分分析進(jìn)行介紹和對(duì)比。另外,EPMA-8050G型電子探針配置的背散射電子探測(cè)器性能優(yōu)異,能夠初步觀察材料的晶粒取向信息,可以用來(lái)分析和判斷EBSD樣品的前期制樣效果,進(jìn)一步擴(kuò)展了電子探針在材料分析方面的應(yīng)用。 

【文章來(lái)源】：電子顯微學(xué)報(bào). 2020,39(02)北大核心CSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：6 頁(yè)

【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)
2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論
    2.1 WDS和EDS的定性點(diǎn)分析能力對(duì)比
    2.2 WDS和EDS元素面分析能力對(duì)比
    2.3 晶粒取向初步分析
3 結(jié)論



本文編號(hào)：3182694