對相同的襯底進行不同的處理后,放入微薄等離子體腔中,在不同的條件下制備出純平金剛石碳膜和球狀金剛石聚晶顆粒碳膜。通過掃描電鏡、拉曼光譜、X射線分析碳膜的形貌與結(jié)構(gòu),利用場發(fā)射二級結(jié)構(gòu)研究兩種金剛石碳膜的場發(fā)射性能。簡單分析了不同碳膜的成因和場發(fā)射性能。 

【文章來源】：電子器件. 2020,43(04)北大核心

【文章頁數(shù)】：4 頁

【文章目錄】：
1 實驗
2 分析和討論
3 結(jié)論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]含氫類金剛石碳膜的拉曼光譜洛倫茲分解[J]. 藺增,巴德純,王鳳.  東北大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版). 2007(04)



本文編號：3174499