PS-PVD工藝中的氣相及氣/液混合沉積行為
發(fā)布時(shí)間:2021-04-23 20:45
為明確低功率等離子噴涂物理氣相沉積(PS-PVD)工藝中涂層的沉積機(jī)制,通過(guò)80k W級(jí)等離子噴涂系統(tǒng)在100Pa壓力下實(shí)現(xiàn)PS-PVD工藝,并在圓柱狀基體上沉積涂層。采用SEM對(duì)正面和側(cè)面沉積的涂層顯微組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析。研究不同工藝條件下涂層顯微組織的變化規(guī)律。結(jié)果表明涂層在側(cè)面的沉積表現(xiàn)為氣相沉積特性,涂層斷面為柱狀結(jié)構(gòu),表面為納米結(jié)構(gòu)粒子組成的島狀結(jié)構(gòu);涂層在正面的沉積表現(xiàn)為氣/液混合沉積特性,涂層表面為扁平粒子和由納米結(jié)構(gòu)粒子組成的團(tuán)簇組織,斷面主要為扁平粒子結(jié)構(gòu),在扁平粒子中間存在納米結(jié)構(gòu)層。功率增大,氣相沉積的柱狀結(jié)構(gòu)直徑和長(zhǎng)度增大,表面島狀結(jié)構(gòu)尺寸增大,氣/液混合沉積的扁平粒子數(shù)量明顯減小。噴涂距離增大,氣/液混合沉積的扁平粒子數(shù)量減小。結(jié)論是在涂層沉積側(cè)面和正面分別表現(xiàn)為氣相沉積和氣/液混合沉積特性。在氣/液混合沉積中,氣相和液相沉積行為各自獨(dú)立,但液相由于沉積效率遠(yuǎn)高于氣相,會(huì)阻止氣相沉積的連續(xù)進(jìn)行。功率增大YSZ粒子氣相含量增大,氣相沉積效率顯著增大。在試驗(yàn)范圍內(nèi)隨噴涂距離增大,YSZ粒子氣化程度提高。
【文章來(lái)源】:熱噴涂技術(shù). 2016,8(01)
【文章頁(yè)數(shù)】:7 頁(yè)
【文章目錄】:
1 試驗(yàn)
1.1 涂層制備
1.2 性能測(cè)試及組織觀察
2 結(jié)果及分析
2.1 氣相沉積涂層的組織結(jié)構(gòu)
2.2 氣/液混合沉積的涂層組織結(jié)構(gòu)
2.3 功率對(duì)沉積的涂層組織結(jié)構(gòu)的影響
2.4 噴涂距離對(duì)沉積的涂層組織結(jié)構(gòu)的影響
2.5 氣相沉積及氣/液混合沉積機(jī)制
3 結(jié)論
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]銅合金表面等離子噴涂ZrO2-Y2O3和A12O3-TiO2涂層的抗高溫氧化性能[J]. 柯德慶,潘應(yīng)君. 表面技術(shù). 2014(03)
[2]超音速等離子噴涂工藝參數(shù)對(duì)Cr2O3涂層硬度的影響[J]. 歐獻(xiàn),鄧暢光,王日初,毛杰. 表面技術(shù). 2014(01)
[3]不同結(jié)構(gòu)等離子噴涂熱障涂層的性能研究[J]. 王世興,袁濤,詹華,汪瑞軍,王偉平. 表面技術(shù). 2013(01)
[4]等離子噴涂鈰酸鑭熱障涂層性能研究[J]. 王世興,汪瑞軍,何箐,屈軼,王偉平. 表面技術(shù). 2011(06)
本文編號(hào):3156012
【文章來(lái)源】:熱噴涂技術(shù). 2016,8(01)
【文章頁(yè)數(shù)】:7 頁(yè)
【文章目錄】:
1 試驗(yàn)
1.1 涂層制備
1.2 性能測(cè)試及組織觀察
2 結(jié)果及分析
2.1 氣相沉積涂層的組織結(jié)構(gòu)
2.2 氣/液混合沉積的涂層組織結(jié)構(gòu)
2.3 功率對(duì)沉積的涂層組織結(jié)構(gòu)的影響
2.4 噴涂距離對(duì)沉積的涂層組織結(jié)構(gòu)的影響
2.5 氣相沉積及氣/液混合沉積機(jī)制
3 結(jié)論
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]銅合金表面等離子噴涂ZrO2-Y2O3和A12O3-TiO2涂層的抗高溫氧化性能[J]. 柯德慶,潘應(yīng)君. 表面技術(shù). 2014(03)
[2]超音速等離子噴涂工藝參數(shù)對(duì)Cr2O3涂層硬度的影響[J]. 歐獻(xiàn),鄧暢光,王日初,毛杰. 表面技術(shù). 2014(01)
[3]不同結(jié)構(gòu)等離子噴涂熱障涂層的性能研究[J]. 王世興,袁濤,詹華,汪瑞軍,王偉平. 表面技術(shù). 2013(01)
[4]等離子噴涂鈰酸鑭熱障涂層性能研究[J]. 王世興,汪瑞軍,何箐,屈軼,王偉平. 表面技術(shù). 2011(06)
本文編號(hào):3156012
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