電子封裝用金剛石/銅復(fù)合材料界面與導(dǎo)熱模型的研究進展
發(fā)布時間:2021-03-27 18:30
金剛石/銅復(fù)合材料具有高熱導(dǎo)率、高強度、熱膨脹系數(shù)可調(diào)的優(yōu)點,是極具發(fā)展?jié)摿Φ男乱淮娮臃庋b材料。針對復(fù)合材料兩相界面結(jié)合較差的問題,目前主要采用添加活性元素在界面處生成碳化物層的方法來改善。論述了活性元素添加的兩種手段,即基體合金化和金剛石表面金屬化的研究進展,并歸納了金剛石/銅復(fù)合材料導(dǎo)熱模型的發(fā)展情況,最后提出了金剛石/銅復(fù)合材料在界面研究中面臨的挑戰(zhàn)和其未來努力的方向。
【文章來源】:材料導(dǎo)報. 2016,30(03)北大核心EICSCD
【文章頁數(shù)】:10 頁
【部分圖文】:
圖2Cu/diamond-Ti或Cr鍍層示意圖Fig.2CompositeschematicdiagramofTi-coated/Cr-coateddiamondandCu
體積分數(shù)對復(fù)合材料熱導(dǎo)率的影響。研究認為膜層結(jié)構(gòu)為金剛石-碳化物-金屬層,且碳化物層與金屬層厚度比為2∶1[28],經(jīng)放電等離子燒結(jié)成復(fù)合材料后,鍍層金屬擴散入基體銅,形成合金層,因此復(fù)合材料的界面熱阻由3部分構(gòu)成,結(jié)構(gòu)如圖2所示,即金剛石與碳化物界面熱阻、碳化物本身熱阻、碳化物與基體合金層界面熱阻。鍍層厚度的控制制約著碳化物層熱阻的大小,通過調(diào)控鍍覆時間、溫度、原料配比可以達到調(diào)節(jié)鍍層厚度的目的。結(jié)合H-J模型計算得到碳化物層厚度與熱導(dǎo)率的關(guān)系,如圖3所示,模擬值與實驗值吻合較好,但當Cr7C3厚度小于0.2μm后,偏離較為嚴重,這是因為鍍層太薄,起不到結(jié)合的作用,因此碳化物層最佳厚度為0.4~0.6μm,在此條件下,當金剛石體積分數(shù)為70%時,復(fù)合材料熱導(dǎo)率為657W/(m·K)。圖2Cu/diamond-Ti或Cr鍍層示意圖Fig.2CompositeschematicdiagramofTi-coated/Cr-coateddiamondandCu圖3不同金剛石體積分數(shù)復(fù)合材料熱導(dǎo)率隨Cr7C3厚度變化的實驗結(jié)果與H-J模型的對比圖Fig.3ThechangeoftheoreticalandexperimentalvaluesofthethermalconductivitiesofCr-coateddiamond/CucompositeswithdifferentvolumefractionsofdiamondwiththethicknessofCr7C3layeronthesurfaceofthedia
層,如圖4所示,(100)面粗糙坑洼而(111)面基本不反應(yīng),這是因為金剛石(100)面原子結(jié)合不如(111)面緊密,(100)面更容易溶解和參與生成碳化物。圖4金剛石顆粒的微觀結(jié)構(gòu)((a)原始金剛石顆粒;(b)濺射Cu-1%Cr(質(zhì)量分數(shù))的金剛石顆粒;(c)Cu-B/diamond被腐蝕后的顆粒;(d)金剛石(100)面得到凹金字塔結(jié)構(gòu))Fig.4Microstructuresofdiamondparticles((a)Originaldiamondparticles;(b)ParticlessputteredwithCu-1%(massfraction)Cralloy;(c)ParticlesreleasedfromCu-B/diamondcomposites;(d)Convertedpyramidsappearingonsurface)利用磁控濺射法在金剛石表面鍍膜的研究不多,主要原因是磁控濺射法鍍膜單次鍍覆量小,顆粒鍍覆不夠均勻,鍍覆后膜層很難形成冶金結(jié)合,一般需要進行后續(xù)熱處理[5]。2.4擴散法鍍膜擴散法鍍膜是將金剛石與金屬粉末或者金屬氧化物粉末混合后在一定溫度下真空退火,利用反應(yīng)擴散使金剛石表面生成均勻鍍層的方法。1987年,Chuprina等[32,33]對擴散法鍍膜的反應(yīng)機理,鍍層厚度與反應(yīng)溫度、反應(yīng)時間的關(guān)系進行了深入的研究,研究元素包括Ti、Cr、W、Mo、V。研究認為,在鍍膜過程中,金屬元素或金屬氧化物一部分通過蒸發(fā)轉(zhuǎn)變成氣態(tài),另一部分通過擴散到達金剛石表面,與碳原
本文編號:3103991
【文章來源】:材料導(dǎo)報. 2016,30(03)北大核心EICSCD
【文章頁數(shù)】:10 頁
【部分圖文】:
圖2Cu/diamond-Ti或Cr鍍層示意圖Fig.2CompositeschematicdiagramofTi-coated/Cr-coateddiamondandCu
體積分數(shù)對復(fù)合材料熱導(dǎo)率的影響。研究認為膜層結(jié)構(gòu)為金剛石-碳化物-金屬層,且碳化物層與金屬層厚度比為2∶1[28],經(jīng)放電等離子燒結(jié)成復(fù)合材料后,鍍層金屬擴散入基體銅,形成合金層,因此復(fù)合材料的界面熱阻由3部分構(gòu)成,結(jié)構(gòu)如圖2所示,即金剛石與碳化物界面熱阻、碳化物本身熱阻、碳化物與基體合金層界面熱阻。鍍層厚度的控制制約著碳化物層熱阻的大小,通過調(diào)控鍍覆時間、溫度、原料配比可以達到調(diào)節(jié)鍍層厚度的目的。結(jié)合H-J模型計算得到碳化物層厚度與熱導(dǎo)率的關(guān)系,如圖3所示,模擬值與實驗值吻合較好,但當Cr7C3厚度小于0.2μm后,偏離較為嚴重,這是因為鍍層太薄,起不到結(jié)合的作用,因此碳化物層最佳厚度為0.4~0.6μm,在此條件下,當金剛石體積分數(shù)為70%時,復(fù)合材料熱導(dǎo)率為657W/(m·K)。圖2Cu/diamond-Ti或Cr鍍層示意圖Fig.2CompositeschematicdiagramofTi-coated/Cr-coateddiamondandCu圖3不同金剛石體積分數(shù)復(fù)合材料熱導(dǎo)率隨Cr7C3厚度變化的實驗結(jié)果與H-J模型的對比圖Fig.3ThechangeoftheoreticalandexperimentalvaluesofthethermalconductivitiesofCr-coateddiamond/CucompositeswithdifferentvolumefractionsofdiamondwiththethicknessofCr7C3layeronthesurfaceofthedia
層,如圖4所示,(100)面粗糙坑洼而(111)面基本不反應(yīng),這是因為金剛石(100)面原子結(jié)合不如(111)面緊密,(100)面更容易溶解和參與生成碳化物。圖4金剛石顆粒的微觀結(jié)構(gòu)((a)原始金剛石顆粒;(b)濺射Cu-1%Cr(質(zhì)量分數(shù))的金剛石顆粒;(c)Cu-B/diamond被腐蝕后的顆粒;(d)金剛石(100)面得到凹金字塔結(jié)構(gòu))Fig.4Microstructuresofdiamondparticles((a)Originaldiamondparticles;(b)ParticlessputteredwithCu-1%(massfraction)Cralloy;(c)ParticlesreleasedfromCu-B/diamondcomposites;(d)Convertedpyramidsappearingonsurface)利用磁控濺射法在金剛石表面鍍膜的研究不多,主要原因是磁控濺射法鍍膜單次鍍覆量小,顆粒鍍覆不夠均勻,鍍覆后膜層很難形成冶金結(jié)合,一般需要進行后續(xù)熱處理[5]。2.4擴散法鍍膜擴散法鍍膜是將金剛石與金屬粉末或者金屬氧化物粉末混合后在一定溫度下真空退火,利用反應(yīng)擴散使金剛石表面生成均勻鍍層的方法。1987年,Chuprina等[32,33]對擴散法鍍膜的反應(yīng)機理,鍍層厚度與反應(yīng)溫度、反應(yīng)時間的關(guān)系進行了深入的研究,研究元素包括Ti、Cr、W、Mo、V。研究認為,在鍍膜過程中,金屬元素或金屬氧化物一部分通過蒸發(fā)轉(zhuǎn)變成氣態(tài),另一部分通過擴散到達金剛石表面,與碳原
本文編號:3103991
本文鏈接:http://sikaile.net/kejilunwen/cailiaohuaxuelunwen/3103991.html
最近更新
教材專著