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熱壁外延制備CdSe/InAs/Si(211)薄膜材料及其性能

發(fā)布時(shí)間:2021-03-11 19:42
  CdSe作為重要的Ⅱ-Ⅵ族半導(dǎo)體材料,兩種結(jié)構(gòu)的CdSe晶體室溫禁帶寬度分別為1.75 eV和1.9 eV,其可用于光電應(yīng)用等領(lǐng)域,如光電探測(cè)或太陽(yáng)能轉(zhuǎn)換,具有廣闊的應(yīng)用前景和重要的理論研究?jī)r(jià)值。本論文采用熱壁外延(Hot Wall Epitaxy,HWE)技術(shù),在單面拋光的單晶Si(211)襯底表面上首先制備了 InAs薄膜材料,而且通過熱處理對(duì)InAs薄膜進(jìn)行優(yōu)化處理,以降低Si與CdSe之間的晶格和熱膨脹失配,最后在InAs表面探究制備了 CdSe薄膜。CdSe/InAs/Si(211)薄膜的結(jié)構(gòu)、成分、表面形貌借助XRD、SEM、AFM等檢測(cè)手段完成分析,光學(xué)和電學(xué)性能分別借助傅里葉轉(zhuǎn)換紅外光譜(FT-IR)、紫外可見吸收光譜(UV-vis)及霍爾(Hall)測(cè)試系統(tǒng)等分析測(cè)試手段,研究了襯底溫度、蒸發(fā)源溫、不同的Cd/Se比例對(duì)InAs/Si(211)薄膜以及CdSe/InAs/Si(211)薄膜表面的結(jié)構(gòu)、形貌以及光電性能的影響,實(shí)驗(yàn)結(jié)果如下:1.采用熱壁外延(Hot Wall Epitaxy,HWE)技術(shù)在單面拋光的單晶Si(211)襯底表面制備了 InAs薄膜,研究了不... 

【文章來源】:昆明理工大學(xué)云南省

【文章頁(yè)數(shù)】:80 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【部分圖文】:

熱壁外延制備CdSe/InAs/Si(211)薄膜材料及其性能


紅外探測(cè)器工作原理圖

熱壁外延制備CdSe/InAs/Si(211)薄膜材料及其性能


圖1.2金剛石型晶胞的晶體結(jié)構(gòu)??Fig.?1.2?Crystal?structure?of?diamond??

熱壁外延制備CdSe/InAs/Si(211)薄膜材料及其性能


圖1.4?CdSe的晶胞示意圖??Fig.?1.4?Schematic?diagram?of?CdSe?cell??

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
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[2]論第三代紅外探測(cè)器的需求及選擇[J]. 高丹,張喬喬.  科技創(chuàng)新與應(yīng)用. 2016(01)
[3]CdSe薄膜的研究進(jìn)展[J]. 毛璽麟,曾體賢,劉其婭,張敏,楊輝.  硅酸鹽通報(bào). 2015(S1)
[4]面向HgCdTe紅外焦平面探測(cè)器應(yīng)用的分子束外延材料研究進(jìn)展[J]. 陳路,傅祥良,王偉強(qiáng),沈川,胡曉寧,葉振華,林春,丁瑞軍,陳建新,何力.  中國(guó)科學(xué):物理學(xué) 力學(xué) 天文學(xué). 2014(04)
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[8]硅片濕法清洗工藝技術(shù)及設(shè)備發(fā)展趨勢(shì)[J]. 曹秀芳,姚立新,祝福生,宋文超.  電子工業(yè)專用設(shè)備. 2011(04)
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碩士論文
[1]真空蒸發(fā)制備Ⅱ-Ⅵ族硒化物薄膜及其性能研究[D]. 張葉.內(nèi)蒙古大學(xué) 2004



本文編號(hào):3076984

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