熱壁外延制備CdSe/InAs/Si(211)薄膜材料及其性能
發(fā)布時間:2021-03-11 19:42
CdSe作為重要的Ⅱ-Ⅵ族半導體材料,兩種結構的CdSe晶體室溫禁帶寬度分別為1.75 eV和1.9 eV,其可用于光電應用等領域,如光電探測或太陽能轉換,具有廣闊的應用前景和重要的理論研究價值。本論文采用熱壁外延(Hot Wall Epitaxy,HWE)技術,在單面拋光的單晶Si(211)襯底表面上首先制備了 InAs薄膜材料,而且通過熱處理對InAs薄膜進行優(yōu)化處理,以降低Si與CdSe之間的晶格和熱膨脹失配,最后在InAs表面探究制備了 CdSe薄膜。CdSe/InAs/Si(211)薄膜的結構、成分、表面形貌借助XRD、SEM、AFM等檢測手段完成分析,光學和電學性能分別借助傅里葉轉換紅外光譜(FT-IR)、紫外可見吸收光譜(UV-vis)及霍爾(Hall)測試系統(tǒng)等分析測試手段,研究了襯底溫度、蒸發(fā)源溫、不同的Cd/Se比例對InAs/Si(211)薄膜以及CdSe/InAs/Si(211)薄膜表面的結構、形貌以及光電性能的影響,實驗結果如下:1.采用熱壁外延(Hot Wall Epitaxy,HWE)技術在單面拋光的單晶Si(211)襯底表面制備了 InAs薄膜,研究了不...
【文章來源】:昆明理工大學云南省
【文章頁數】:80 頁
【學位級別】:碩士
【部分圖文】:
紅外探測器工作原理圖
圖1.2金剛石型晶胞的晶體結構??Fig.?1.2?Crystal?structure?of?diamond??
圖1.4?CdSe的晶胞示意圖??Fig.?1.4?Schematic?diagram?of?CdSe?cell??
【參考文獻】:
期刊論文
[1]Hg1-xCdxSe紅外薄膜材料研究進展[J]. 郭治平,劉翔,潘順臣,吳長樹,陳清明,段云彪. 材料導報. 2016(13)
[2]論第三代紅外探測器的需求及選擇[J]. 高丹,張喬喬. 科技創(chuàng)新與應用. 2016(01)
[3]CdSe薄膜的研究進展[J]. 毛璽麟,曾體賢,劉其婭,張敏,楊輝. 硅酸鹽通報. 2015(S1)
[4]面向HgCdTe紅外焦平面探測器應用的分子束外延材料研究進展[J]. 陳路,傅祥良,王偉強,沈川,胡曉寧,葉振華,林春,丁瑞軍,陳建新,何力. 中國科學:物理學 力學 天文學. 2014(04)
[5]基于三代紅外探測器的一種新型材料——硒鎘汞[J]. 王經緯,鞏鋒. 激光與紅外. 2013(10)
[6]InAs薄膜的分子束外延生長與表面形貌及表面重構分析[J]. 王繼紅,羅子江,周勛,張畢禪,郭祥,丁召. 材料導報. 2013(04)
[7]熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜及其光電特性研究[J]. 徐平川,曾體賢,王志紅. 人工晶體學報. 2012(03)
[8]硅片濕法清洗工藝技術及設備發(fā)展趨勢[J]. 曹秀芳,姚立新,祝福生,宋文超. 電子工業(yè)專用設備. 2011(04)
[9]中遠紅外非線性晶體材料CdSe生長及光學性能研究[J]. 吳海信,黃飛,倪友保,王振友,陳林,程干超. 量子電子學報. 2010(06)
[10]硒化鎘片狀納米晶的合成與表征[J]. 李鋒銳,王軍,鄭毓峰,吳榮,李錦,孫言飛,簡基康. 新疆大學學報(自然科學版). 2010(01)
碩士論文
[1]真空蒸發(fā)制備Ⅱ-Ⅵ族硒化物薄膜及其性能研究[D]. 張葉.內蒙古大學 2004
本文編號:3076984
【文章來源】:昆明理工大學云南省
【文章頁數】:80 頁
【學位級別】:碩士
【部分圖文】:
紅外探測器工作原理圖
圖1.2金剛石型晶胞的晶體結構??Fig.?1.2?Crystal?structure?of?diamond??
圖1.4?CdSe的晶胞示意圖??Fig.?1.4?Schematic?diagram?of?CdSe?cell??
【參考文獻】:
期刊論文
[1]Hg1-xCdxSe紅外薄膜材料研究進展[J]. 郭治平,劉翔,潘順臣,吳長樹,陳清明,段云彪. 材料導報. 2016(13)
[2]論第三代紅外探測器的需求及選擇[J]. 高丹,張喬喬. 科技創(chuàng)新與應用. 2016(01)
[3]CdSe薄膜的研究進展[J]. 毛璽麟,曾體賢,劉其婭,張敏,楊輝. 硅酸鹽通報. 2015(S1)
[4]面向HgCdTe紅外焦平面探測器應用的分子束外延材料研究進展[J]. 陳路,傅祥良,王偉強,沈川,胡曉寧,葉振華,林春,丁瑞軍,陳建新,何力. 中國科學:物理學 力學 天文學. 2014(04)
[5]基于三代紅外探測器的一種新型材料——硒鎘汞[J]. 王經緯,鞏鋒. 激光與紅外. 2013(10)
[6]InAs薄膜的分子束外延生長與表面形貌及表面重構分析[J]. 王繼紅,羅子江,周勛,張畢禪,郭祥,丁召. 材料導報. 2013(04)
[7]熱蒸發(fā)制備CdSe薄膜及其光電特性研究[J]. 徐平川,曾體賢,王志紅. 人工晶體學報. 2012(03)
[8]硅片濕法清洗工藝技術及設備發(fā)展趨勢[J]. 曹秀芳,姚立新,祝福生,宋文超. 電子工業(yè)專用設備. 2011(04)
[9]中遠紅外非線性晶體材料CdSe生長及光學性能研究[J]. 吳海信,黃飛,倪友保,王振友,陳林,程干超. 量子電子學報. 2010(06)
[10]硒化鎘片狀納米晶的合成與表征[J]. 李鋒銳,王軍,鄭毓峰,吳榮,李錦,孫言飛,簡基康. 新疆大學學報(自然科學版). 2010(01)
碩士論文
[1]真空蒸發(fā)制備Ⅱ-Ⅵ族硒化物薄膜及其性能研究[D]. 張葉.內蒙古大學 2004
本文編號:3076984
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