為了明確中階梯光柵厚鋁膜硬度特性,從而為中階梯光柵刻劃刀具晶體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)奠定基礎(chǔ),對中階梯光柵厚鋁膜進(jìn)行了納米壓痕硬度測試與分析,表征了厚鋁膜硬度特性。首先,對厚鋁膜進(jìn)行納米壓痕試驗(yàn)并提取了試驗(yàn)數(shù)據(jù),采用O&P法計(jì)算了其硬度值。然后,通過對硬度值的擬合與分析,得出厚鋁膜的硬度變化規(guī)律與宏觀硬度值。實(shí)驗(yàn)與分析結(jié)果表明:中階梯光柵厚鋁膜在納米壓痕測試過程中會(huì)出現(xiàn)尺寸效應(yīng)（0～0.2μm壓深區(qū)間）,并且不是單一隨著壓深增大而減小,而是呈現(xiàn)三個(gè)明顯的變化區(qū)域,并且采用Almasri&Voyiadji模型表征了厚鋁膜在壓深為0～0.2μm區(qū)間的硬度變化特性。硬度值在壓深為10～15 nm區(qū)間再次出現(xiàn)了三個(gè)明顯變化區(qū)域;因此筆者對厚鋁膜進(jìn)行了金相試驗(yàn)與壓入過程的接觸分析,試驗(yàn)與分析結(jié)果表明:10～15 nm壓深區(qū)域產(chǎn)生這種現(xiàn)象的原因是厚鋁膜晶體發(fā)生了屈服。本研究具體表征了中階梯光柵鋁膜納米壓痕硬度尺寸效應(yīng)變化規(guī)律,從晶體力學(xué)角度解釋了極淺壓深條件下硬度值變化的原因。 

【文章來源】：材料導(dǎo)報(bào). 2020,34(S1)北大核心

【文章頁數(shù)】：4 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 納米壓痕硬度計(jì)算方法與尺寸效應(yīng)模型
    1.1 O&P法
    1.2 Nix & Gao模型
    1.3 殘余面積最大壓深模型
    1.4 Almasri & Voyiadji模型
2 中階梯光柵厚鋁膜納米壓痕硬度尺寸效應(yīng)分析
    2.1 試驗(yàn)
    2.2 模型適用分析與擬合
    2.3 極小壓深區(qū)域的硬度尺寸效應(yīng)
    2.4 極淺壓深區(qū)域硬度尺寸效應(yīng)成因分析
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[4]衍射光柵機(jī)械刻劃成槽的預(yù)控試驗(yàn)[J]. 張寶慶,史國權(quán),石廣豐,蔡洪彬,張善文.  光學(xué)精密工程. 2013(07)
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碩士論文
[1]大面積高質(zhì)量中階梯光柵厚鋁膜特性和制備工藝研究[D]. 孫夢至.中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所) 2015
[2]高精度金剛石玻氏壓頭的設(shè)計(jì)方法及其機(jī)械研磨技術(shù)研究[D]. 吳東.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2015



本文編號(hào)：3072837