紅外透明導(dǎo)電膜作為既可以在紅外波段透光又具有良好的導(dǎo)電性能的新型材料,可以被廣泛的應(yīng)用在航空航天、軍工防御、光電傳感技術(shù)、電池能源等高科技行業(yè)中,例如紅外成像儀、紅外熱分析儀、航天導(dǎo)彈窗口、航天光電系統(tǒng)、紅外電極等。目前為止,國內(nèi)外研究的重點(diǎn)仍然是在可見光以及近紅外光波段的導(dǎo)電薄膜材料,由于其等離子振蕩頻率ω_p極大,截止波長延伸不到中紅外或者遠(yuǎn)紅外波段,不能透射中紅外光,因此研制出高性能的中紅外透明導(dǎo)電膜具有十分深遠(yuǎn)的意義。通過摻雜,可以改善金屬氧化物薄膜的光電特性,而且可以具有很寬的禁帶寬度,等離子頻率可以延伸到中紅外�，F(xiàn)今在可見光及近紅外波段,已經(jīng)可以獲得性能優(yōu)異的TCO薄膜,但是中紅外透明導(dǎo)電膜的研究較少。本文利用磁控濺射法制備了中紅外透明導(dǎo)電W摻雜In₂O₃薄膜、ZnO薄膜、CuCrO₂薄膜以及IWO/Cu/IWO復(fù)合薄膜,研究分析了其光電性能。主要工作內(nèi)容如下:（1）利用射頻磁控濺射法制備了IWO薄膜,并研究了不同濺射功率,不同退火溫度對IWO薄膜結(jié)構(gòu)、光學(xué)及電學(xué)特性的影響。研究發(fā)現(xiàn)退火溫... 

【文章來源】：吉林大學(xué)吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：73 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

金屬網(wǎng)柵結(jié)構(gòu)示意圖

第一章緒論3激光直寫方法在紅外基底上制備出了線寬5μm，周期為350μm，總透過率高達(dá)97%的金屬網(wǎng)柵薄膜[4]。2007年，哈爾濱工業(yè)大學(xué)譚久彬、陸振剛等人利用激光直寫法制備出了線寬3.52μm。周期為320μm的圓環(huán)型金屬網(wǎng)柵薄膜[5]，如圖1.2所示，透光率在97%，屏蔽效率可達(dá)1.5dB，這種圓環(huán)形金屬網(wǎng)柵薄膜解決了傳統(tǒng)方格網(wǎng)柵薄膜高級次衍射能量分布的問題。圖1.2圓環(huán)形金屬網(wǎng)柵薄膜2010年，中國空空導(dǎo)彈研究院張運(yùn)強(qiáng)、潘國慶[6]等人采用激光寫直法在球型的藍(lán)寶石整流罩內(nèi)表面成功制備了線寬8μm，周期為350μm的金屬網(wǎng)柵薄膜，該薄膜在1064nm波段的透過為87.8%，如圖1.3所示。圖1.3（a）藍(lán)寶石整流罩(b)藍(lán)寶石整流罩內(nèi)的金屬網(wǎng)柵薄膜盡管金屬網(wǎng)柵薄膜對電磁波的屏蔽效率極高而且在紅外具有高的透過率，但

第一章緒論3激光直寫方法在紅外基底上制備出了線寬5μm，周期為350μm，總透過率高達(dá)97%的金屬網(wǎng)柵薄膜[4]。2007年，哈爾濱工業(yè)大學(xué)譚久彬、陸振剛等人利用激光直寫法制備出了線寬3.52μm。周期為320μm的圓環(huán)型金屬網(wǎng)柵薄膜[5]，如圖1.2所示，透光率在97%，屏蔽效率可達(dá)1.5dB，這種圓環(huán)形金屬網(wǎng)柵薄膜解決了傳統(tǒng)方格網(wǎng)柵薄膜高級次衍射能量分布的問題。圖1.2圓環(huán)形金屬網(wǎng)柵薄膜2010年，中國空空導(dǎo)彈研究院張運(yùn)強(qiáng)、潘國慶[6]等人采用激光寫直法在球型的藍(lán)寶石整流罩內(nèi)表面成功制備了線寬8μm，周期為350μm的金屬網(wǎng)柵薄膜，該薄膜在1064nm波段的透過為87.8%，如圖1.3所示。圖1.3（a）藍(lán)寶石整流罩(b)藍(lán)寶石整流罩內(nèi)的金屬網(wǎng)柵薄膜盡管金屬網(wǎng)柵薄膜對電磁波的屏蔽效率極高而且在紅外具有高的透過率，但


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