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兩種Ge-Sb-Se薄膜的光學(xué)性質(zhì)及微觀結(jié)構(gòu)

發(fā)布時(shí)間:2021-02-14 07:40
  提出一種綜合利用區(qū)域逼近法和柯西擬合法精確獲取Ge28Sb12Se60薄膜和Ge28Sb12Se60薄膜透射光譜范圍內(nèi)任意波長(zhǎng)處折射率與色散的多點(diǎn)柯西法,并從理論上證明了該方法的準(zhǔn)確性.實(shí)驗(yàn)上,采用磁控濺射法制備了這兩種Ge—Sb—Se薄膜,利用傅里葉紅外光譜儀測(cè)得了透射光譜曲線,運(yùn)用分段濾波的方法去除噪聲,然后使用多點(diǎn)柯西法得到了這兩種薄膜在500—2500 nm波段的折射率、色散、吸收系數(shù)和光學(xué)帶隙.結(jié)果表明Ge28Sb12Se60薄膜的折射率和吸收系數(shù)大于Ge28Sb15Se65薄膜, Ge28Sb15Se65薄膜的光學(xué)帶隙小于Ge28Sb12Se60薄膜.最后,利用拉曼光譜對(duì)兩種薄膜的微觀... 

【文章來(lái)源】:物理學(xué)報(bào). 2020,69(11)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】:11 頁(yè)

【文章目錄】:
1 引言
2 理論分析與模擬仿真
    2.1 理論模型
    2.2 折射率獲取方法及擬合模型
        2.2.1 改進(jìn)的Swanepoel方法
        2.2.2 區(qū)域逼近法
        2.2.3 折射率擬合模型
    2.3 模擬仿真
3 實(shí)驗(yàn)
    3.1 樣品制備
    3.2 樣品測(cè)試
4 結(jié)果與討論
    4.1 透射光譜濾波
    4.2 折射率及色散分析
    4.3 吸收系數(shù)及光學(xué)帶隙分析
    4.4 拉曼結(jié)構(gòu)分析
5 結(jié)論
附錄


【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于三種色散公式的三棱鏡色散實(shí)驗(yàn)研究[J]. 王申浩,陶宗明,楊蕾,張輝.  大學(xué)物理實(shí)驗(yàn). 2017(03)
[2]用于產(chǎn)生中紅外超連續(xù)譜的硫系玻璃色散研究[J]. 高靜,于峰,葛廷武,王智勇.  紅外與激光工程. 2014(10)
[3]Ge20Sb15Se65薄膜的熱致光學(xué)特性變化研究[J]. 宗雙飛,沈祥,徐鐵峰,陳昱,王國(guó)祥,陳芬,李軍,林常規(guī),聶秋華.  物理學(xué)報(bào). 2013(09)
[4]透射光譜法測(cè)試薄膜的光學(xué)參數(shù)[J]. 顧曉明,賈宏志,王鏗,朱一.  光學(xué)儀器. 2009(02)



本文編號(hào):3033357

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