天堂国产午夜亚洲专区-少妇人妻综合久久蜜臀-国产成人户外露出视频在线-国产91传媒一区二区三区

當(dāng)前位置:主頁 > 科技論文 > 材料論文 >

貴金屬Ag,Ru對過渡族金屬氮化物薄膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)及摩擦磨損性能影響

發(fā)布時(shí)間:2021-01-28 04:56
  本文采用磁控濺射儀制備了一系列分別含有貴金屬元素Ag,Ru的NbN-Ag,TaCN-Ag及Ti Ru N納米復(fù)合膜,利用X射線衍射儀(XRD),透射電子顯微鏡(TEM),掃描電子顯微鏡(SEM)及搭載的能譜儀(EDS),拉曼光譜,原子力顯微鏡,納米力學(xué)綜合測試系統(tǒng),摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)和激光共聚焦顯微鏡等設(shè)備對薄膜的微結(jié)構(gòu),力學(xué)性能和摩擦磨損性能進(jìn)行了表征。主要研究結(jié)果如下:對不同Ag含量的NbN-Ag復(fù)合膜的研究結(jié)果表明:NbN-Ag復(fù)合膜由fcc-NbN,hcp-NbN和fcc-Ag相組成。隨著Ag含量的增加,復(fù)合膜的硬度及彈性模量逐漸降低,在Ag含量為19.9 at.%時(shí),達(dá)到最小硬度11GPa和最小彈性模量100GPa。室溫下,隨著Ag含量的增加,復(fù)合膜的摩擦系數(shù)逐漸降低,磨損率逐漸增大。在200-700℃時(shí):隨著溫度的增加,Ag含量為9.2 at.%的NbN-Ag復(fù)合膜的摩擦系數(shù)和磨損率均先上升后降低,在300℃時(shí)分別達(dá)到最大值0.7和3.9×10-9mm3N-1m-1;Ag含量為19.9 at.%的NbN-Ag復(fù)合膜的摩擦系數(shù)始終保持在0.3左右,磨損率先上升后下降,在300℃時(shí)... 

【文章來源】:江蘇科技大學(xué)江蘇省

【文章頁數(shù)】:89 頁

【學(xué)位級別】:碩士

【部分圖文】:

貴金屬Ag,Ru對過渡族金屬氮化物薄膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)及摩擦磨損性能影響


薄膜的生長過程

模式圖,薄膜,模式,氮化物


6圖1.2薄膜的生長模式Fig.1.2Themodesoffilmgrowth1.5過渡族金屬氮化物薄膜1.5.1過渡族金屬氮化物薄膜研究現(xiàn)狀過渡族金屬氮化物(TransitionMetalNitride,TMN)是以N原子為填充原子進(jìn)入到金屬晶格中形成的金屬間填充化合物。由于在其晶格中金屬原子d層軌道是相互交疊的,所以其在固態(tài)下呈現(xiàn)金屬光澤[28]。過渡族金屬氮化物薄膜因具有良好的機(jī)械性能,耐摩擦磨損性能,抗氧化性能,耐腐蝕性能及光電性能而廣泛應(yīng)用與航空航天,機(jī)械加工,半導(dǎo)體行業(yè)及生物植入技術(shù)等領(lǐng)域。由于過渡族金屬氮化物中的N原子是以填充原子的方式進(jìn)入到過渡族金屬中,因此對于過渡族金屬氮化物,其在特定范圍內(nèi)會(huì)形成非計(jì)量化合物。即在晶體內(nèi)部,金屬原子與氮原子之間的數(shù)目比是在一定范圍內(nèi)變化的。根據(jù)Hagg經(jīng)驗(yàn)規(guī)則,根據(jù)過渡族金屬氮化物中N原子與過渡族金屬(TM)原子的半徑之比(RN/RTM)的變化,晶體結(jié)構(gòu)也會(huì)發(fā)生變化。當(dāng)RN/RTM小于0.59時(shí),該金屬氮化物將為簡單的立方(ccp)或六方密堆結(jié)構(gòu)(hcp),而當(dāng)RN/RTM大于0.59時(shí),此時(shí)薄膜的結(jié)構(gòu)開始呈現(xiàn)復(fù)雜的結(jié)構(gòu)[29]。到目前為止,關(guān)于二元過渡族金屬氮化物薄膜的研究已經(jīng)較為成熟,早在上世紀(jì),學(xué)者們就已經(jīng)通過PVD,CVD等方法制備了一系列氮化物薄膜,例如TiN,CrN,TaN等,并對其各項(xiàng)性能進(jìn)行了研究。目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,但是隨著相關(guān)技術(shù)的發(fā)展,傳統(tǒng)的二元過渡族氮化物薄膜已經(jīng)越來不能滿足目前技術(shù)參數(shù)的要求。為此目前人們已經(jīng)更多的將目光聚焦于以過渡族金屬氮化物為基礎(chǔ)的多元復(fù)合薄膜上。目

示意圖,磁控濺射,外觀,示意圖


10第2章薄膜的表征和制備2.1引言截至目前,各種納米薄膜的制備技術(shù)都已十分成熟,其中磁控濺射技術(shù)由于可制備薄膜范圍寬,濺射原子能量高,膜基結(jié)合力好,膜層密度高,重復(fù)性好等特點(diǎn)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于金屬膜,半導(dǎo)體膜,氧化膜等薄膜的制備。且目前也已經(jīng)初步進(jìn)入工業(yè)化應(yīng)用。因此本文選用磁控濺射法制備了一系列含貴金屬Ag,Ru的過渡族金屬氮化物薄膜試樣。接下來對磁控濺射技術(shù)原理,薄膜制備工藝及各類檢測設(shè)備進(jìn)行介紹。2.2薄膜的制備方法與設(shè)備2.2.1薄膜制備設(shè)備本文中的所有薄膜均采用由中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器廠生產(chǎn)的JGP-450型多靶射頻磁控濺射儀制備。該磁控濺射儀主要由濺射系統(tǒng),真空系統(tǒng),供氣系統(tǒng),循環(huán)冷卻系統(tǒng)及控制系統(tǒng)組成,其外觀及內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖2.1所示。濺射系統(tǒng)采用倒裝式放置,三個(gè)獨(dú)立的射頻濺射靶通過支架固定在艙室下方,可進(jìn)行三種靶材同時(shí)濺射。樣品架安裝在艙室上方,可將襯底固定并做勻速旋轉(zhuǎn),保證沉積薄膜成分的均勻性。靶材直徑為75mm,靶材到樣品架的距離均為78mm。在樣品架及靶材前方均安裝有擋板,可以控制靶材及襯底的開合。真空系統(tǒng)主要由機(jī)械泵,分子泵組成,主要保證艙室內(nèi)的真空度。循環(huán)冷卻系統(tǒng)主要是負(fù)責(zé)對分子泵及濺射系統(tǒng)降溫。供氣系統(tǒng)是為濺射提供氬氣及反應(yīng)氣體。通過流量控制計(jì)可對氣體流量進(jìn)行調(diào)節(jié)。通過控制系統(tǒng)可以對濺射過程中各種參數(shù)進(jìn)行控制。圖2.1JGP-450多靶磁控濺射儀外觀及內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖Fig.2.1Externalappearanceandinnervacuumchamber"sstructureofJGP-450multi-targetsmagnetronsputter

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]Influence of Ag content on the microstructure, mechanical, and tribological properties of TaVN–Ag films[J]. Tong Chen,Li-hua Yu,Jun-hua Xu.  International Journal of Minerals Metallurgy and Materials. 2018(01)
[2]表面涂層技術(shù)的研究現(xiàn)狀[J]. 王飛,張超,周隱玉,李凱.  熱加工工藝. 2017(10)
[3]含銀硬質(zhì)涂層高溫摩擦學(xué)性能的研究進(jìn)展[J]. 何鵬飛,王海斗,馬國政,雍青松,陳書贏,徐濱士.  中國有色金屬學(xué)報(bào). 2015(11)
[4]C含量對TiWCN復(fù)合膜微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和摩擦磨損性能的影響[J]. 喻利花,董鴻志,許俊華.  金屬學(xué)報(bào). 2014(11)
[5]TaMoN復(fù)合膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能與摩擦性能[J]. 許俊華,薛雅平,曹峻,喻利花.  稀有金屬材料與工程. 2014(06)
[6]V含量對TaVN復(fù)合膜微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和摩擦性能的影響[J]. 許俊華,薛雅平,曹峻,喻利花.  無機(jī)材料學(xué)報(bào). 2013(07)
[7]磁控濺射制備TiCN復(fù)合膜的微結(jié)構(gòu)與性能[J]. 許俊華,曹峻,喻利花.  中國有色金屬學(xué)報(bào). 2012(11)
[8]Mo含量對TiMoN薄膜微觀組織和摩擦磨損性能的影響[J]. 許俊華,鞠洪博,喻利花.  金屬學(xué)報(bào). 2012(09)
[9]固體自潤滑復(fù)合涂層制備技術(shù)的研究進(jìn)展[J]. 鄭晨,何祥明,楊茂盛,劉秀波.  蘇州大學(xué)學(xué)報(bào)(工科版). 2011(05)
[10]空間固體潤滑材料的研究現(xiàn)狀[J]. 馬國政,徐濱士,王海斗,司紅娟.  材料導(dǎo)報(bào). 2010(01)

博士論文
[1]寬溫域固體潤滑材料及涂層的高溫摩擦學(xué)特性研究[D]. 李建亮.南京理工大學(xué) 2009



本文編號:3004396

資料下載
論文發(fā)表

本文鏈接:http://sikaile.net/kejilunwen/cailiaohuaxuelunwen/3004396.html


Copyright(c)文論論文網(wǎng)All Rights Reserved | 網(wǎng)站地圖 |

版權(quán)申明:資料由用戶a23ee***提供,本站僅收錄摘要或目錄,作者需要?jiǎng)h除請E-mail郵箱bigeng88@qq.com
麻豆看片麻豆免费视频| 日韩免费国产91在线| 免费一区二区三区少妇| 欧美日韩国产一级91| 精品久久av一二三区| 日韩一区二区三区嘿嘿| 精品视频一区二区不卡| 国产免费黄片一区二区| 成人三级视频在线观看不卡| 国产精品久久久久久久久久久痴汉 | 亚洲深夜精品福利一区| 久久亚洲成熟女人毛片| 日韩国产亚洲欧美激情| 日韩人妻一区中文字幕| 午夜精品一区二区av| 国产又大又硬又粗又黄| 日韩精品一区二区不卡| 国产传媒高清视频在线| 国产激情一区二区三区不卡| 亚洲欧美日本国产有色| 国产老女人性生活视频| 久久99青青精品免费观看| 在线观看视频日韩成人| 在线观看视频日韩成人| 免费特黄一级一区二区三区| 欧美大黄片在线免费观看| 亚洲中文字幕在线观看黑人| 99久久国产精品亚洲| 国产精品一区二区三区欧美| 国产又粗又硬又长又爽的剧情| 国产精品午夜一区二区三区 | 欧美一级内射一色桃子| 欧美国产日韩变态另类在线看| 99国产高清不卡视频| 欧美日韩成人在线一区| 久久婷婷综合色拍亚洲| 国产毛片对白精品看片| 91欧美一区二区三区成人| 精品少妇人妻av一区二区蜜桃 | 亚洲国产天堂av成人在线播放| 中文字幕亚洲精品乱码加勒比|