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基于聚焦離子束技術(shù)制備金剛石/M(M=Cu,Al,AlN)雙相復(fù)合材料HRTEM樣品

發(fā)布時(shí)間:2021-01-15 03:33
  分別以金剛石/Cu,金剛石/Al,金剛石/Al N等雙相復(fù)合材料為研究對(duì)象,應(yīng)用聚焦離子束(FIB)場(chǎng)發(fā)射掃描雙束電鏡,成功制備了含雙相及界面結(jié)構(gòu)的高分辨透射電鏡(HRTEM)樣品,并減小了Ga離子的非晶損傷層。HRTEM成功觀測(cè)到金剛石與不同材料復(fù)合時(shí)的晶體共格/半共格/非共格關(guān)系,為進(jìn)一步研究金剛石雙相復(fù)合材料的界面成分和晶體結(jié)構(gòu)奠定了基礎(chǔ)。 

【文章來(lái)源】:電子顯微學(xué)報(bào). 2016,35(01)

【文章頁(yè)數(shù)】:5 頁(yè)

【文章目錄】:
1 聚焦離子束系統(tǒng)的工作原理
2 實(shí)驗(yàn)
3 基于FIB的金剛石/ M HRTEM樣品制備
    3. 1 Pt沉積
    3. 2 粗切與細(xì)切
    3. 3 U切
    3. 4 終減薄
    3. 5 清洗
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]基于聚焦離子束銑削技術(shù)的微刀具制備[J]. 張少婧,徐宗偉,房豐洲,胡小唐.  天津大學(xué)學(xué)報(bào). 2010(05)
[2]聚焦離子束系統(tǒng)原理、應(yīng)用及進(jìn)展[J]. 于華杰,崔益民,王榮明.  電子顯微學(xué)報(bào). 2008(03)



本文編號(hào):2978140

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