為了滿足透明導電薄膜輕便、可折疊、高分辨率及快速響應的需求,在AZO單層透明導電薄膜研究基礎(chǔ)上,嘗試在柔性PET襯底上制備AZO/Ag/AZO三層透明導電薄膜。先利用光學薄膜設(shè)計軟件對膜系進行設(shè)計優(yōu)化,再參照此優(yōu)化值制備研究不同AZO、Ag層對AZO/Ag/AZO薄膜光電性能的影響。通過合理的實驗設(shè)計與對比,發(fā)現(xiàn)在柔性PET襯底上制備的三層AZO薄膜與在硬質(zhì)襯底上制備的薄膜光電性能相當,且當三層AZO/Ag/AZO薄膜中AZO層厚度在40⁴5nm,Ag層厚度8nm時,在可見光波段的透過率高達到92%,電阻率低至4.0×10^-5Ω·cm,透明導電薄膜的品質(zhì)因子最高為12.6×10^-2Ω^-1。得到的AZO/Ag/AZO三層透明導電薄膜具有與常見的ITO薄膜相比擬的性能。 

【文章來源】：光學與光電技術(shù). 2016,14(06)

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 AZO/Ag/AZO多層薄膜制備與特性研究
    2.1 襯底條件對AZO/Ag/AZO薄膜性能影響
    2.2 Ag層厚度的優(yōu)化
        2.2.1 Ag層厚度對AZO/Ag/AZO薄膜電學性能影響
        2.2.2 Ag層厚度對AZO/Ag/AZO薄膜光學性能影響
    2.3 AZO層厚度的優(yōu)化
        2.3.1 AZO層厚度對AZO/Ag/AZO薄膜電學性能影響
        2.3.2 AZO層厚度對AZO/Ag/AZO薄膜光學性能影響
3 結(jié)論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]磁控濺射制備AZO/Ag/AZO透明導電膜的性能研究[J]. 賈芳,喬學亮,陳建國,李世濤,王國鋒.  光電工程. 2007(12)



本文編號：2962143