發(fā)布時間：2021-01-04 07:23

　　針對薄膜鐵芯傳統(tǒng)制作方法所得納米孔洞結(jié)構(gòu)的分布與尺度完全隨機(jī)不可控的問題,提出了微型磁通門納米孔薄膜鐵芯微觀結(jié)構(gòu)改進(jìn)方案。該方案采用二步陽極化法進(jìn)行多孔氧化鋁模板生長,并在模板基礎(chǔ)上完成可控的納米多孔軟磁薄膜的制備。實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證結(jié)果表明,薄膜鐵芯中的納米多孔微結(jié)構(gòu),能夠降低鐵芯的磁疇體積和磁疇間的相互作用數(shù)量,從而有效改善薄膜鐵芯的磁性能,降低器件噪聲。 

【文章來源】：探測與控制學(xué)報. 2020年03期 北大核心

【文章頁數(shù)】：5 頁

【部分圖文】：

幾種薄膜鐵芯的電壓噪聲

以銅納米線陣列作為陰極,以鎳板作為陽極,進(jìn)行電鍍鐵鎳的工藝。電鍍時在鐵芯的感應(yīng)線圈方向施加磁場有助于提高鐵芯的軟磁性能,電鍍時間為10 min。硅基多孔鐵芯的制作流程見圖1。3 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證與分析

采用掃描電子顯微鏡(SEM)觀測多孔鐵芯的外觀形貌,如圖2所示。構(gòu)成納米多孔結(jié)構(gòu)薄膜的晶體顆粒較小,有著較好的外形尺寸和均一性,在模板基體上有規(guī)律地分布。薄膜表面呈現(xiàn)規(guī)則分布的納米孔洞,孔洞中部保留有銅納米線。由于銅線不影響薄膜的磁特性,故無需去除[15]。對鐵芯的多個區(qū)域用能譜儀(EDS)進(jìn)行了成分測試,如圖3所示,EDS特征峰比較簡潔,各元素特征峰的峰背較高。測試結(jié)果表明,Fe的質(zhì)量含量為20.13%,Ni的質(zhì)量含量為79.87%,符合預(yù)期值。圖3 EDS成分分析

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]微型磁通門傳感器的低功耗結(jié)構(gòu)設(shè)計[J]. 呂輝,劉詩斌.  傳感器與微系統(tǒng). 2015(03)



本文編號：2956396