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磁控濺射制備Er 2 O 3 與Al 2 O 3 復合陶瓷薄膜及其表征

發(fā)布時間:2020-12-18 18:26
  本論文采用磁控濺射制備得到混合相Er2O3(M-Er2O3)以及純立方相Er2O3(C-Er2O3)、Er2O3/Er復合膜以及SiC顆粒摻雜的Al2O3復合薄膜,利用共焦顯微拉曼光譜儀、X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、能量色散能譜儀以及納米力學探針等表征手段,討論了相結構對Er2O3的光學、熱學、力學性能的影響,以及Er中間層對鋼基Er2O3薄膜、SiC摻雜對Al2O3薄膜的結構和性能的影響。取得的主要結果如下:1)使用六種不同波長的激光對M-Er2O3和C-Er2O3的拉曼譜以及熒光譜進行了表征,結合群論理論、XRD測試結果、不同激光激發(fā)樣品產(chǎn)生的光譜、以及已報道的其它具有相同晶體結構的稀土氧化物的拉曼譜,識別并歸屬了B-Er2O3的17個一次振動模。2)通過比較、分析M-Er2O3和C-Er2O3的熒光光譜,發(fā)現(xiàn)B-Er2O3與C-Er2O3的可見光范圍熒光光譜存在明顯不同,提出一種基于室溫熒光光譜對摻Er的稀土氧化物進行快速相識別的方法。3)基于變功率熒光光譜,討論了 532nm激光激發(fā)下Er2O3的發(fā)光機制以及Er2O3的相結構對發(fā)光機制的影響,并從溫度敏感的超敏躍遷綠光與普通... 

【文章來源】:北京科技大學北京市 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】:176 頁

【學位級別】:博士

【部分圖文】:

磁控濺射制備Er 2 O 3 與Al 2 O 3 復合陶瓷薄膜及其表征


圖2-1?EH+上轉換示意圖:(a)合作上轉換(CU);?(b)交叉馳豫(CR);?(c)激發(fā)態(tài)吸??卩1??

相圖,稀土,穩(wěn)定溫度,氧化物


?北京科技大學博士學位論文???的構型,而在2000°C以上還有H?(六方,P63/mmc)和X?(立方,Im-3m),??它們之間的結構轉變可以用它們的相圖來表示。由圖2-2可見對于重稀土?Y??和Ho ̄Lu的三氧化物,立方相為室溫熱穩(wěn)定相,單斜相為亞穩(wěn)相;而位于鑭??系中部的稀土氧化物室溫下單斜相為穩(wěn)定結構,該室溫單斜相稀土氧化物的??存在為單斜相重稀土三價氧化物的研究提供了參考。??2700?;??2300?-?Z?/??^?1900?I?/?/??2?A?/?B?>?C??1?:?i?/??700?-?r?^?^?^??〇?〇〇〇〇?(5〇〇〇〇5°.〇〇??57?59?60?61?62?63?64?65?66?67?68?69?70?71?Z??—???圖2-2基于Foex和Traverse給出的稀土三價氧化物的相圖,圖中給出了不同晶體結??構的穩(wěn)定溫度范圍。L表示液相。陰影區(qū)域為Lopato等報道的單斜相區(qū)域I'??在A型結構RE2〇3中,稀土離子是七配位的,有6個氧原子圍繞稀土離??子呈八面體排布,第7個氧原子則處于八面體的一個面中心;在B型RE2〇3??中,稀土離子是七配位的,其中6個氧原子也是八面體排布,剩下的一個氧??原子與金屬原子的鍵要比其他的鍵長;氟化鈣結構(四價Ce、Pr、Tb的氧化??物結構)中,每個金屬原子被8個氧原子包圍,它們分布在一個立方體的8??個頂角上,每個氧原子又被4個金屬離子包圍,這4個金屬離子分布在一個??四面體頂角上;C型RE2O3的結構是在氟化鈣結構中移除了?1/4的陰離子,??金屬離子是六配位[41。??-7?-??

特性圖,射頻磁控濺射,吸收譜,襯底


?磁控濺射制備Er203與Ah〇3復合陶瓷薄膜及其表征???r: ̄ ̄7「:?:?一^li??/?1??”15/2 ̄*4?■^T-?—?4廠9/2-47l5/2?1?§??f?if??(...可見光吸收譜?光致發(fā)光譜?|??\?(488.0nm?瀲發(fā)光)??V?-w::??2S^—"ll5/3?吾??W",w?|_g??^?s???拉關蜂?X^/IM_=^?〇??%,^,,??-^'8??圖2-3?C-Er203的吸收譜和激發(fā)譜W??Miritello等1|2,|31使用射頻磁控濺射在Si與Si〇2襯底上制備了?En03薄??膜,研究了其結構和室溫PL特性。發(fā)現(xiàn)稀土氧化物很容易與Si反應,但使??用Si02中間層得到的薄膜表面形貌很好。同時研究了在02氛圍中800?1200°C??快速退火的影響,發(fā)現(xiàn)高于ll〇〇°C退火后SiCh襯底上Er2〇3的PL強度比退??火前增強了?40倍,并將其歸因于光子壽命增加。而在Si襯底上沉積的En03,??在退火后發(fā)光增強效果就不明顯,則歸因于EnOs與Si襯底發(fā)生界面反應以??及形成了位錯,導致形成非輻射復合中心,從而限制了?PL效率。??-10?-??

【參考文獻】:
期刊論文
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博士論文
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[3]稀土氧化物和稀土礦物的譜學研究[D]. 薛理輝.武漢理工大學 2003

碩士論文
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[2]Ce對熱浸鋁防氚滲透涂層結構及性能的影響[D]. 張惠.華中科技大學 2012
[3]納米壓痕試驗方法研究[D]. 王春亮.機械科學研究總院 2007



本文編號:2924398

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