采用水熱法合成了納米In₂O₃顆粒,將其旋涂于陶瓷基片上經(jīng)氮化處理獲得InN基片,再對InN基片進(jìn)行氧化,合成出氣敏材料并在一種微型平面電極片上制備了傳感器件.采用掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）、X射線衍射（XRD）儀、X射線光電子能譜（XPS）等手段對材料的形貌、組成進(jìn)行了表征與分析,結(jié)果表明,最終獲得了松枝狀結(jié)構(gòu)的InN-In₂O₃納米復(fù)合材料.對器件的氣敏性能進(jìn)行了測試,發(fā)現(xiàn)基于此材料制備的平面型氣敏傳感器對乙醇?xì)怏w具有良好的氣敏性能:檢測濃度為1.025 mg/m³（500 ppb）的乙醇蒸汽的靈敏度可達(dá)18;檢測2.05 mg/m³（1 ppm）的乙醇的響應(yīng)-恢復(fù)時間最快僅為1 s;最佳工作溫度低,僅為50℃. 

【文章來源】：高等學(xué)�；瘜W(xué)學(xué)報. 2020年08期 第1745-1752頁 北大核心

【文章頁數(shù)】：8 頁

【文章目錄】：
1 實驗部分
    1.1 試劑與儀器
    1.2 實驗過程
        1.2.1 納米In2O3材料的制備
        1.2.2 納米InN基底材料的制備
        1.2.3 納米InN-In2O3復(fù)合材料的制備
        1.2.4 氣敏傳感器件的制作及測試
2 結(jié)果與討論
    2.1 材料的表征
    2.2 材料的氣敏性能
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]高靈敏度與高選擇性的銀摻雜In2O3乙醇傳感器的制備[J]. 張翼東.  鄭州師范教育. 2013(02)

博士論文
[1]氧化銦材料的形貌可控制備及其乙醇?xì)饷粜阅苎芯縖D]. 劉繼江.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2015

碩士論文
[1]多孔結(jié)構(gòu)In2O3的制備及氣敏性能研究[D]. 韓丹.濟(jì)南大學(xué) 2015



本文編號：2910897