UV固化活化漿料的制備及快速化學鍍銅的應(yīng)用研究
【圖文】:
(a)無添加劑;(b)20mg/L邋亞鐵氰化鐘;(c)3mg/L邋2-1VIBT;逡逑(d)20mg/L邋有機物邋M;邋(e)20mg/L邋吐溫-80;邋(f)4mg/L邋硫脲逡逑Fig.邋2-10邋SEM邋analysis邋of邋copper邋deposit:逡逑(a)no邋additives;邋(b)邋20mg/L邋K4Fe(CN)6;(c)3ing/L邋2-MBT;逡逑(d)邋20mg/L邋Organic邋compounds邋M;(e)邋20mg/L邋Tween-80;(f)4mg/L邋Tu逡逑(3)復合添加劑對化學鍍銅的影響逡逑由于硫脲的鎮(zhèn)層質(zhì)量較差;亞鐵氰化鉀和吐溫-80對沉積速率和鎮(zhèn)液穩(wěn)定性響不大;2-MBT穩(wěn)定鍍液的能力有限;而有機物M能在提高沉積速率的同時增逡逑液穩(wěn)定性,且鍍層光亮細致,兼有加速劑、穩(wěn)定劑和光亮劑的功能。因此以有機同2-MBT、吐溫-80和亞鐵氰化鉀復配,設(shè)計正交試驗,考察了復合添加劑對沉逡逑率及鍍液穩(wěn)定性的影響,以期進一步改善鍍液性能。正交試驗因素水平表如表2-6,逡逑結(jié)果如表2-7,方差分析結(jié)果如表2-8所示。穩(wěn)定性測試按2.2.3.2的操作進行,逡逑
Fig.3-15邋Effect邋of邋THPED邋concentration邋on邋cathodic邋polarization邋curve邋of逡逑3.5.3添加EDTA.2Na對Cu(丨丨)的陰極極化曲線的影響逡逑EDTA.2Na對Cii(II)陰極極化曲線的影響如圖3-16所示。由圖可知,EDTA.2Na逡逑對峰1基本無影響,對峰2電流密度的影響很明顯,隨EDTA.2Na濃度的增大,峰電逡逑流密度先增大后減小。EDTA‘2Na濃度為2.3g/L時,峰電流為3.808邋mA_cm_2;邋EDTA‘2Na逡逑濃度為5.8g/L時,峰電流密度增至4.386邋mA.cm_2;繼續(xù)增大EDTA‘2Na濃度,峰電逡逑流密度降低。這與工藝研宄結(jié)果吻合,當EDTA_2Na濃度較小時,僅能起到消耗THPED逡逑配位能力的作用,,此時溶液中主要以Cu-THPED配合物為主;n)TA_2Na過量后,配逡逑位體含量過高,沉積速率減慢。逡逑47逡逑
【學位授予單位】:廣東工業(yè)大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2015
【分類號】:TN41;TB306
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本文編號:2580148
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