【摘要】：納米結(jié)構(gòu)的高精度可控加工是制約器件小型化發(fā)展的重要限制因素之一,而基于透射電子顯微鏡的電子輻照有望在加工精度上推動(dòng)納米加工的進(jìn)程.透射電子顯微鏡中高能電子束不僅能用于原子結(jié)構(gòu)成像,還可用于原位輻照加工.因此,基于透射電子顯微鏡的電子輻照效應(yīng)研究既有利于從原子尺度上探索材料在電子輻照作用下的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性及結(jié)構(gòu)演變規(guī)律,又有利于加深對(duì)電子輻照過程的理解,為納米結(jié)構(gòu)的高精度可控加工提供理論依據(jù)和實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ).本文將簡(jiǎn)要介紹幾種常見的電子輻照效應(yīng),并綜述近年來利用透射電子顯微鏡在石墨烯、氮化硼、過渡金屬硫族化合物等二維層狀材料原位輻照方面的研究進(jìn)展,為進(jìn)一步研究二維材料結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和精準(zhǔn)、可控加工低維納米結(jié)構(gòu)提供參考.
[Abstract]:High precision and controllable fabrication of nanostructures is one of the important limiting factors to the development of miniaturization of devices, and electron irradiation based on transmission electron microscope (TEM) is expected to promote the process of nanofabrication. High energy electron beam in transmission electron microscope can be used not only for atomic structure imaging, but also for in situ irradiation processing. Therefore, the study of electron irradiation effect based on transmission electron microscope not only helps to explore the structure stability and structural evolution of materials under electron irradiation at atomic scale, but also helps to better understand the process of electron irradiation. It provides theoretical basis and experimental basis for high precision and controllable fabrication of nanostructures. In this paper, several common electron irradiation effects are briefly introduced, and the research progress of in situ irradiation of graphene, boron nitride, transition metal sulfur compounds and other two-dimensional layered materials using transmission electron microscopy in recent years is reviewed. It provides a reference for the further study of the stability and precision of two-dimensional materials and the controllable fabrication of low dimensional nanostructures.
【作者單位】： 東南大學(xué)FEI納皮米中心MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;東南大學(xué)-蒙納什大學(xué)蘇州聯(lián)合研究院先進(jìn)材料與制造中心;東南大學(xué)-江南石墨烯研究院先進(jìn)碳材料應(yīng)用聯(lián)合研發(fā)中心;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51420105003,61274114,11327901,61601116,11674052) 國(guó)家杰出青年科學(xué)基金(11525415) 江蘇省自然科學(xué)基金(BK2012024)資助
【分類號(hào)】：TB383

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本文編號(hào)：2182298