【摘要】：橢偏法在材料的光學(xué)性質(zhì)和薄膜厚度檢測(cè)中發(fā)揮著重要的作用,橢偏測(cè)量也已納入很多高校的實(shí)驗(yàn)教學(xué)內(nèi)容。針對(duì)實(shí)驗(yàn)教學(xué)中原理展示性不足、與科研實(shí)際結(jié)合不緊密的問(wèn)題,對(duì)課程形式和內(nèi)容進(jìn)行了改變。制作了光譜橢偏儀器件裝配和動(dòng)態(tài)測(cè)量視頻,增加橢偏測(cè)量教學(xué)中的原理展示性,加強(qiáng)理論貫通性,聯(lián)系科研實(shí)際,增加實(shí)驗(yàn)內(nèi)容,通過(guò)對(duì)不同類(lèi)型樣品的測(cè)量分析討論,培養(yǎng)學(xué)生解決實(shí)際問(wèn)題的能力和創(chuàng)造性思維。
[Abstract]:Ellipsometry plays an important role in measuring the optical properties of materials and the thickness of films. Ellipsometry has also been included in the experimental teaching contents of many colleges and universities. In order to solve the problem that the principle is not sufficiently demonstrated in experimental teaching and is not closely combined with the practice of scientific research, the course form and content are changed. The assembly and dynamic measurement video of spectroscopic ellipsometry parts are made, the principle demonstration in ellipsometry teaching is increased, the theoretical penetration is strengthened, the scientific research practice is combined, the experimental content is added, and the measurement and analysis of different kinds of samples are discussed. Cultivate students' ability to solve practical problems and creative thinking.
【作者單位】： 大連理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：中國(guó)學(xué)位與研究生教育研究課題(B1-2015Y0504-029) 大連理工大學(xué)教改基金項(xiàng)目(JG2016026,ZD2016008) 遼寧重大裝備制造協(xié)同創(chuàng)新中心研究生校內(nèi)實(shí)踐基地建設(shè)基金項(xiàng)目
【分類(lèi)號(hào)】：G642;TB302-4

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本文編號(hào)：2134307